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J-GLOBAL ID：201002296552301802   Reference number：10A0533487

Porosity Assessment of NiO Sputtered Film and NO₂ Sensing Property

酸化ニッケルスパッタ膜の多孔性評価と NO₂ 検出特性

Author (3)： YONEZAWA MASATAKA (富山大学大学院理工学研究部) ,  YAMAZAKI TOSHINARI (富山大学大学院理工学研究部) ,  KIKUTA TOSHIO (富山大学大学院理工学研究部)
Material： Journal of the Vacuum Society of Japan  (真空)
Volume： 53  Issue： 3  Page： 226-229 (J-STAGE)  Publication year： 2010 
JST Material Number： G0194A  ISSN： 1882-2398  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *nickel oxide ,  *sputtered deposition ,  *porosity(property) ,  evaporated film ,  *pressure effect ,  *nitrogen dioxide ,  X-ray diffraction ,  scanning electron microscope ,  density ,  surface area ,  *heat treatment ,  *sensitivity(ratio) ,  *sensor
Semi thesaurus term： scanning electron microscopy ,  センサー感度

JST classification (2)： Oxide thin films  (BK14050P) ,  Analytical instruments  (CC02020S)

Reference (11)：

• 1) I. Hotovy, V. Rehacek, P. Siciliano, S. Capone and L. Spiess: Thin Solid Films, 418 (2002) 9.
• 2) I. Hotovy, J. Liday, J. Huran, S. Hascik, L. Spiess and H. Sitter: Vacuum, 69 (2002) 237.
• 3) I. Hotovy, J. Huran, P. Siciliano, S. Capone and L. Spiess: Sensors and Actuators B, 78 (2001) 126.
• 4) I. Hotovy, J. Huran, L. Spiess, R. Capkovic and S. Hascik: Vacuum, 58 (2000) 300.
• 5) I. Hotovy, J. Huran, P. Siciliano, S. Capone, L. Spiess and V. Rehacek: Sensors and Actuators B, 103 (2004) 300.

Terms in the title (5)： 酸化ニッケル ,  スパッタ膜 ,  多孔性 ,  評価 ,  NO2