固体試料の作製装置、固体試料の作製方法及び試料の観察方法

Inventor： , , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (3)：宮崎昭夫 , 石橋政幸 , 緒方雅昭
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2008165698
Publication number (International publication number)：2010008141
Application date： Jun. 25, 2008
Publication date： Jan. 14, 2010
Summary：

【課題】吐出口から液体試料が蒸発することを抑制して、固化する際の検体の組成や構造の変化を抑制し、かつ安定した検体の吐出を可能にする。【解決手段】固体試料の作製室(1〜3)と、ステージ(14)と、検体を吐出する吐出口を備え、吐出動作により、ステージの表面に検体を供給する検体供給器(16)と、ステージを冷却する冷却器(13)と、を有し、作製室内において、冷却されたステージの表面に検体を供給して、検体を固化させる固体試料の作製装置において、検体供給器の吐出動作の待機時に、検体供給器の吐出口を作製室内の雰囲気から遮蔽した状態で、吐出口から検体を吸引する吸引器(18)を有する。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

固体試料の作製室と、ステージと、検体を吐出する吐出口を備え、吐出動作により、前記ステージの表面に前記検体を供給する検体供給器と、前記ステージを冷却する冷却器と、を有し、前記作製室内において、冷却された前記ステージの表面に前記検体を供給して、前記検体を固化させる固体試料の作製装置において、前記検体供給器の吐出動作の待機時に、前記検体供給器の吐出口を前記作製室内の雰囲気から遮蔽した状態で、前記吐出口から前記検体を吸引する吸引器を有することを特徴とする固体試料の作製装置。

IPC (1)：

G01N 1/28

FI (2)：

G01N1/28 K , G01N1/28 F

F-Term (14)：

2G052AD08 , 2G052AD09 , 2G052AD28 , 2G052AD29 , 2G052AD52 , 2G052CA03 , 2G052CA12 , 2G052CA18 , 2G052EB08 , 2G052EC18 , 2G052FD06 , 2G052GA35 , 2G052HC22 , 2G052JA08

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (4)

実開昭57-75554号公報
特公平08-12136号公報
特許第3715956号公報

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Cited by examiner (6)

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