ポジ型感光性樹脂組成物

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2008308837
Publication number (International publication number)：2010134116
Application date： Dec. 03, 2008
Publication date： Jun. 17, 2010
Summary：

【課題】本発明は高いi線透明性を有するポリ(アミド酸-イミド)共重合体を有機溶媒に溶解して得られる安定なワニスにジアゾナフトキノン系感光剤を均一に溶解して成る感光性樹脂組成物とその塗膜、および該塗膜より得られる、微細パターン化されたポリイミド膜およびその製造方法を提供するものである。【解決手段】特定の構造を有するポリイミド前駆体(ポリアミド酸)とポリイミドからなる共重合体即ち、ポリ(アミド酸-イミド)共重合体、及びジアゾナフトキノン系感光剤を含有する感光性樹脂組成物。【選択図】なし

Claim (excerpt)：

下記式(1)で表される、ポリイミド前駆体(ポリアミド酸)とポリイミドからなる共重合体即ち、ポリ(アミド酸-イミド)共重合体、及びジアゾナフトキノン系感光剤を含有する感光性樹脂組成物。

IPC (3)：

G03F 7/023 , C08G 73/10 , H01L 21/027

FI (3)：

G03F7/023 , C08G73/10 , H01L21/30 502R

F-Term (48)：

2H025AA00 , 2H025AB15 , 2H025AB16 , 2H025AC01 , 2H025AD03 , 2H025BE01 , 2H025CB25 , 2H025FA17 , 2H025FA29 , 4J043PA02 , 4J043PA04 , 4J043PA08 , 4J043PA09 , 4J043PA18 , 4J043QB15 , 4J043QB26 , 4J043RA06 , 4J043RA35 , 4J043SA06 , 4J043SA43 , 4J043SA44 , 4J043SB01 , 4J043SB02 , 4J043TA22 , 4J043UA022 , 4J043UA041 , 4J043UA042 , 4J043UA121 , 4J043UA131 , 4J043UA132 , 4J043UA141 , 4J043UA412 , 4J043UA421 , 4J043UA622 , 4J043UA761 , 4J043UA771 , 4J043UB011 , 4J043UB061 , 4J043UB122 , 4J043UB131 , 4J043UB152 , 4J043UB302 , 4J043UB401 , 4J043XA16 , 4J043XB09 , 4J043YA08 , 4J043ZA12 , 4J043ZB22

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

イミド基含有ジアミン、該イミド基含有ポリイミド前駆体、該前駆体を含有してなるポジ型感光性樹脂組成物、ポジ型パターンの製造方法及び電子部品
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2004-252578 Applicant：新日本理化株式会社
ポジ型感光性ポリイミド前駆体組成物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2004-270232 Applicant：東洋紡績株式会社
新規な(1R,2S,4S,5R)-シクロヘキサンテトラカルボン酸二無水物及びその利用
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2008-138655 Applicant：岩谷瓦斯株式会社

Return to Previous Page