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J-GLOBAL ID：200903064843902786

イミド基含有ジアミン、該イミド基含有ポリイミド前駆体、該前駆体を含有してなるポジ型感光性樹脂組成物、ポジ型パターンの製造方法及び電子部品

Inventor： 長谷川 匡俊 ,  真見 博司
Applicant, Patent owner： 新日本理化株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004252578
Publication number (International publication number)：2006070096
Application date： Aug. 31, 2004
Publication date： Mar. 16, 2006
Summary：

【課題】透明性に優れ、微細なパターン形成能を有し、且つ低誘電率及び高耐熱性を併せ持つポリイミド膜を形成することのできるポジ型感光性樹脂組成物及びポジ型パターンの製造方法を提供する。【解決手段】一般式(2)[式中、Aは、4価の脂環族基、R2は、2価の脂環族基を表し、R1は、芳香族基、脂肪族基及び脂環族基からなる群から選ばれる少なくとも1種の2価の有機基を表す。Xは、繰り返し単位のモル比率を表し、0.05〜0.95の範囲である。]で表されるイミド基含有ポリイミド前駆体、有機溶媒及びジアゾナフトキノン系感光剤を含有するポジ型感光性樹脂組成物。

Claim (excerpt)：

一般式(1)

IPC (5)：

C08G 73/10 ,  C07D 487/04 ,  G03F 7/023 ,  G03F 7/037 ,  H01L 21/027

FI (6)：

C08G73/10 ,  C07D487/04 136 ,  C07D487/04 ,  G03F7/023 ,  G03F7/037 501 ,  H01L21/30 502R

F-Term (74)：

2H025AA10 ,  2H025AB16 ,  2H025AC01 ,  2H025AD03 ,  2H025BE01 ,  2H025CB25 ,  2H025FA03 ,  2H025FA17 ,  2H025FA29 ,  4C050AA01 ,  4C050AA08 ,  4C050BB04 ,  4C050CC04 ,  4C050EE02 ,  4C050FF05 ,  4C050GG03 ,  4C050HH01 ,  4J043PA09 ,  4J043PA19 ,  4J043PA20 ,  4J043PC025 ,  4J043PC145 ,  4J043QB15 ,  4J043QB26 ,  4J043RA06 ,  4J043RA35 ,  4J043SA06 ,  4J043SA39 ,  4J043SA42 ,  4J043SA54 ,  4J043SA71 ,  4J043SA72 ,  4J043SB01 ,  4J043SB02 ,  4J043TA22 ,  4J043UA011 ,  4J043UA022 ,  4J043UA041 ,  4J043UA042 ,  4J043UA051 ,  4J043UA052 ,  4J043UA061 ,  4J043UA121 ,  4J043UA131 ,  4J043UA132 ,  4J043UA141 ,  4J043UA151 ,  4J043UA262 ,  4J043UB011 ,  4J043UB012 ,  4J043UB021 ,  4J043UB061 ,  4J043UB062 ,  4J043UB121 ,  4J043UB122 ,  4J043UB131 ,  4J043UB151 ,  4J043UB152 ,  4J043UB221 ,  4J043UB301 ,  4J043UB302 ,  4J043UB401 ,  4J043UB402 ,  4J043VA011 ,  4J043VA021 ,  4J043VA051 ,  4J043VA061 ,  4J043XA14 ,  4J043XA16 ,  4J043XA17 ,  4J043XA19 ,  4J043ZB03 ,  4J043ZB22 ,  4J043ZB47

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (8)

• 特開昭54-145794号公報
  
• 特開昭49-115541号公報
  
• 特開平3-87745号公報
  
• 特開昭60-37550号公報
  
• 特開平4-168441号公報
  
• 特開平3ー11546号公報
  
• 特願平2-237221号公報
  
• ポジ型感光性耐熱材料
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-354657   Applicant：旭化成工業株式会社

Cited by examiner (5)

• ポリイミド、ポリイミド前駆体及びこれらの製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2001-129508   Applicant：新日本理化株式会社
• 感光性樹脂組成物、多孔質樹脂、回路基板および回路付サスペンション基板
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2000-319438   Applicant：日東電工株式会社
• 特公昭43-000629
  
• 液晶配向剤
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-329948   Applicant：住友ベークライト株式会社
• プラスチック製光導波路およびそれを用いた光スイッチ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-024722   Applicant：株式会社日立製作所