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J-GLOBAL ID：200903016952148590

ポジ型感光性ポリイミド前駆体組成物

Inventor：
今橋 聰

About 今橋 聰

, 
涌井 洋行

About 涌井 洋行


Applicant, Patent owner：
東洋紡績株式会社

About 東洋紡績株式会社


Agent (1)： 高島 一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004270232
Publication number (International publication number)：2006084853
Application date： Sep. 16, 2004
Publication date： Mar. 30, 2006
Summary：
【課題】 熱膨張係数が小さく、基材との密着性の低下や基材の反り等が軽減され、電気特性、解像性などが劣化することなく、膜の強靭性を維持しつつ、紫外線領域での光感度が高いポジ型感光性ポリイミド前駆体組成物を提供すること。 【解決手段】 本発明のポジ型感光性ポリイミド前駆体組成物は、主鎖及び側鎖の少なくともいずれかにアルカリ可溶性基を有するポリイミド前駆体と、感光性溶解阻害剤とを含有し、該ポリイミド前駆体の主鎖構造は、非芳香族性の環構造が含有されて構成される。本発明は、非芳香族性の環構造を有することにより紫外線の透過率が大きいので、感度が高く、パターン形成性も良好であり、剛直性が過度になることがないので、形成される膜の強靭性を維持することができる。また、ポリイミド化後の熱膨張係数が小さいので、低熱膨張係数の基材上に塗布、熱環化した後も熱膨張係数の差が小さく、基材との密着性が良く、反りなどを軽減できる。 【選択図】 なし
Claim (excerpt)：
主鎖及び側鎖の少なくともいずれかにアルカリ可溶性基を有するポリイミド前駆体と、感光性溶解阻害剤とを含有し、該ポリイミド前駆体の主鎖構造は、非芳香族性の環構造が含有されて構成されることを特徴とするポジ型感光性ポリイミド前駆体組成物。
IPC (4)：
G03F 7/037 ,  C08G 73/10 ,  G03F 7/004 ,  H01L 21/027
FI (4)：
G03F7/037 501 ,  C08G73/10 ,  G03F7/004 501 ,  H01L21/30 502R
F-Term (28)：
2H025AA10 ,  2H025AA13 ,  2H025AA20 ,  2H025AB16 ,  2H025AD03 ,  2H025CB25 ,  2H025CB41 ,  2H025CB43 ,  2H025CB45 ,  2H025CC20 ,  2H025FA17 ,  4J043PA02 ,  4J043PA19 ,  4J043PB21 ,  4J043QB31 ,  4J043RA05 ,  4J043RA34 ,  4J043SA06 ,  4J043UA121 ,  4J043UA122 ,  4J043UA261 ,  4J043UA262 ,  4J043UA451 ,  4J043UA561 ,  4J043UA591 ,  4J043UB401 ,  4J043UB402 ,  4J043ZB22
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (14)
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