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J-GLOBAL ID：201003044268687444

プラズマモニタリング装置及び方法

Inventor：
シン,ヘウン ヒュン

About シン,ヘウン ヒュン

, 
アン,ウー ジュン

About アン,ウー ジュン


Applicant, Patent owner：
エスエヌユー プレシジョン カンパニー,リミテッド

About エスエヌユー プレシジョン カンパニー,リミテッド


Agent (5)： 前田 均 ,  鈴木 亨 ,  橋村 一誠 ,  堀江 一基 ,  船本 康伸
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：2010503963
Publication number (International publication number)：2010527096
Application date： Apr. 10, 2008
Publication date： Aug. 05, 2010
Summary：
【課題】プラズマの放射状態を画像イメージとして取得した後、該画像イメージのピクセル情報を制御部で分析して、プラズマの放射状態をリアルタイムに観察することができるようにしたプラズマモニタリング装置を提供すること。 【解決手段】本発明のプラズマモニタリング装置は、プラズマモニタリング装置であって、電源を供給する電源供給部と、反応ガスを供給する供給ラインと、内部で発生するプラズマを処理対象物に向かって放射する放射ノズルとが形成されるプラズマ供給手段と、該プラズマ供給手段から放射されるプラズマの放射状態を画像イメージとして取得するカメラ部と、該カメラ部の画像イメージのピクセル情報を数値化させて得た測定値を正常的な放射状態の基準値と比較して、プラズマの放射状態を検査する制御部とを備えて達成される。 【選択図】 図1
Claim (excerpt)：
プラズマモニタリング装置であって、 電源を供給する電源供給部と、反応ガスを供給する供給ラインと、内部で発生するプラズマを処理対象物に向かって放射する放射ノズルとが形成されるプラズマ供給手段と、 該プラズマ供給手段から放射されるプラズマの放射状態を画像イメージとして取得するカメラ部と、 該カメラ部の画像イメージのピクセル情報を数値化させて得た測定値を正常的な放射状態の基準値と比較して、プラズマの放射状態を検査する制御部と、 を備えることを特徴とするプラズマモニタリング装置。
IPC (3)：
H05H 1/00 ,  H01L 21/306 ,  H01L 21/304
FI (4)：
H05H1/00 A ,  H01L21/302 103 ,  H01L21/304 645C ,  H01L21/304 648G
F-Term (26)：
5F004AA01 ,  5F004AA15 ,  5F004AA16 ,  5F004BA20 ,  5F004BB28 ,  5F004BC06 ,  5F004CA08 ,  5F004CB09 ,  5F157AA42 ,  5F157AA46 ,  5F157AA73 ,  5F157AB33 ,  5F157AB82 ,  5F157AC01 ,  5F157AC13 ,  5F157BG32 ,  5F157BG85 ,  5F157CB32 ,  5F157CD21 ,  5F157CE21 ,  5F157CE84 ,  5F157CE85 ,  5F157CE89 ,  5F157CF42 ,  5F157CF82 ,  5F157DA21
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (5)
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