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J-GLOBAL ID:201003060395595996
欠陥検出方法およびその方法を用いた視覚検査装置
Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (3):
鈴木 由充
, 小石川 由紀乃
, 新田 研太
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2008307926
Publication number (International publication number):2010133744
Application date: Dec. 02, 2008
Publication date: Jun. 17, 2010
Summary:
【課題】周囲とは外観が異なる欠陥を、精度良くかつ高速で検出できるようにする。【解決手段】検査対象物の画像を1画素ずつ走査しながら、毎時の注目画素20に対し、あらかじめ登録した設定情報に基づき所定数の比較対象画素21〜23を設定し、これらの比較対象画素21〜23を順に注目画素20に組み合わせて、組み合わせ毎に、組み合わせられた画素間の濃度差を求めてその濃度差が許容範囲に入るかどうかを判定する。ここで濃度差が許容範囲に入るという判定結果を得た場合には、注目画素20は欠陥を表す画素ではないとして、次の位置に注目画素20を移す。他方、濃度差が許容範囲に入るという判定結果を得る前に全ての組み合わせに対する処理が終了した場合には、注目画素20を欠陥を表す画素であると判定する。【選択図】図7
Claim (excerpt):
検査対象物の画像をコンピュータにより処理することによって、前記検査対象物の外観上の欠陥を検出する方法であって、
検査対象の画像中の注目画素から1画素以上離れ、かつ注目画素に対して特定の位置関係にある画素を、当該注目画素の比較対象画素として設定するための設定情報を、あらかじめ登録し、
前記画像を1画素ずつ走査して、毎時の注目画素につき、それぞれ前記登録された設定情報を適用して少なくとも1つの比較対象画素を設定し、設定された比較対象画素の中に注目画素に対する画像データの差が所定の許容範囲に入る画素があるか否かを判定するとともに、前記画像データの差が前記許容範囲に入る比較対象画素はないという判定をしたとき、その時点における注目画素を欠陥を表す画素として特定し、
前記画像に対する走査が終了したとき、欠陥を表すものとして特定された画素の有無、または前記欠陥を表す画素の特定結果を表す画像を出力する、
ことを特徴とする欠陥検出方法。
IPC (1):
FI (1):
F-Term (12):
2G051AA65
, 2G051AB02
, 2G051AC21
, 2G051CA04
, 2G051CA11
, 2G051CB01
, 2G051EA16
, 2G051EB01
, 2G051EB09
, 2G051EC01
, 2G051ED08
, 2G051FA02
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (3)
-
パターン欠陥検査装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平8-009483
Applicant:松下電器産業株式会社
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微小パタ-ン形状検査方法及びその装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平11-274696
Applicant:株式会社東芝
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欠陥検査方法およびその方法を用いた検査装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2006-328424
Applicant:オムロン株式会社
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