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J-GLOBAL ID：201003068373386464
圧電素子
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
ポレール特許業務法人
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2008271679
Publication number (International publication number)：2010103209
Application date： Oct. 22, 2008
Publication date： May. 06, 2010
Summary：
【課題】圧電性能が高く変位が大きいとともに、信頼性の高い圧電素子を提供する。【解決手段】BaTi2O5を主構成材料とする圧電材料体と、圧電材料体に電圧を印加する内部電極とを有する圧電素子において、内部電極の主構成材料に圧電材料BaTi2O5との格子整合性が良い電極材料(RuとRuO2の混合物)を用いる。【選択図】図1
Claim (excerpt)：
BaTi2O5を主構成材料とする圧電材料体と、該圧電材料体に電圧を印加する内部電極とを有する圧電素子チップを複数積層して圧電素子チップブロックを構成し、該圧電素子チップブロックを接合層を介して複数個接合した圧電素子において、
前記内部電極は前記圧電材料体の積層方向に垂直な断面を覆って形成され、前記圧電素子の一側面に露出した前記内部電極に設けられた電気絶縁層と、前記圧電素子の他の側面に露出した前記内部電極と接続する外部電極とを有し、かつ前記内部電極の主構成材料がRuとRuO2の混合物であることを特徴とする圧電素子。
IPC (2)：
H01L 41/083
, H01L 41/187
H01L41/08 N
, H01L41/18 101B
Cited by applicant (3)
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特開平4-167580 号公報
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圧電素子およびその製造方法
Gazette classification：公開公報
Application number：特願平10-314310
Applicant：株式会社日立製作所, 株式会社日立カーエンジニアリング
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チタン酸バリウム結晶、コンデンサ、光スイッチおよびFRAM
Gazette classification：公開公報
Application number：特願2003-025369
Applicant：島根大学長
Cited by examiner (7)
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