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J-GLOBAL ID：200903045248470088

セル駆動型圧電/電歪アクチュエータ及びその製造方法

Inventor：
大森 誠

About 大森 誠

, 
木村 浩二

About 木村 浩二


Applicant, Patent owner：
日本碍子株式会社

About 日本碍子株式会社


Agent (1)： 渡邉 一平
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004249798
Publication number (International publication number)：2006013411
Application date： Aug. 30, 2004
Publication date： Jan. 12, 2006
Summary：
【課題】インクの滞留、インク漏れ、あるいは、電極にかかる短絡、マイグレーション等の問題発生につながる要素を徹底的に排除したインクジェットプリントヘッドに好適に用いられる圧電/電歪アクチュエータを提供すること。【解決手段】2つの側壁6と、その2つの側壁6を接続する天井壁7及び底壁2と、を含む壁部により形成された1又は複数のセル3を具備し、少なくとも2つの側壁6が圧電/電歪作動部4で構成され、その圧電/電歪作動部4の変位によってセル3の容積が変化するセル駆動型圧電/電歪アクチュエータである。このセル駆動型圧電/電歪アクチュエータは、天井壁7に2つの微小孔8が備わるとともに、壁部のセル内面を全て覆う1層以上のシームレスな薄膜17が形成されているところに特徴があり、このアクチュエータをインクジェットプリントヘッドに適用することにより課題が解決される。【選択図】図1
Claim (excerpt)：
2つの側壁と、前記2つの側壁を接続する天井壁及び底壁と、を含む壁部により形成された1又は複数のセルを具備し、少なくとも前記2つの側壁が圧電/電歪作動部で構成され、前記圧電/電歪作動部の変位によって前記セルの容積が変化するアクチュエータであって、 前記圧電/電歪作動部で構成される2つの側壁を除く壁部に、1つ以上の微小孔が備わるとともに、前記壁部のセル内面を全て覆う1層以上のシームレスな薄膜が形成されているセル駆動型圧電/電歪アクチュエータ。
IPC (7)：
H01L 41/083 ,  H02N 2/00 ,  H01L 41/22 ,  H01L 41/187 ,  B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  B41J 2/16
FI (10)：
H01L41/08 N ,  H02N2/00 B ,  H01L41/22 Z ,  H01L41/08 Q ,  H01L41/18 101B ,  H01L41/18 101C ,  H01L41/18 101D ,  H01L41/18 101J ,  B41J3/04 103A ,  B41J3/04 103H
F-Term (14)：
2C057AF65 ,  2C057AF93 ,  2C057AG14 ,  2C057AG37 ,  2C057AG40 ,  2C057AG42 ,  2C057AG44 ,  2C057AG52 ,  2C057AG55 ,  2C057AP53 ,  2C057AP54 ,  2C057AP55 ,  2C057BA03 ,  2C057BA14
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (2)
  • 特許第3217006号公報
  • 特許第3412090号公報
Cited by examiner (5)
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