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J-GLOBAL ID：201003072985266562

三次元形状検査装置

Inventor： 安藤 繁 ,  根本 越男 ,  今野 貴史
Applicant, Patent owner： JUKI株式会社 ,  国立大学法人 東京大学
Agent (3)： 高矢 諭 ,  松山 圭佑 ,  牧野 剛博
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2008265728
Publication number (International publication number)：2010096551
Application date： Oct. 14, 2008
Publication date： Apr. 30, 2010
Summary：

【課題】実時間(1フレーム)で、干渉範囲内の頂点位置等の検査と高さ計測を可能とするとともに、外部振動に対して、その影響の除去を電気信号処理で行なえるようにする。【解決手段】時間相関イメージセンサ(カメラ10)を使用した白色干渉計を含む三次元形状検査装置において、被測定物8が外部環境によって振動する振動変位を取得する手段(変位センサ42)と、該振動変位を、前記時間相関イメージセンサに与える参照信号に合成して、外部振動の影響をキャンセルする手段(参照信号発生手段50)と、を備える。【選択図】図10

Claim (excerpt)：

時間相関イメージセンサを使用した白色干渉計を含む三次元形状検査装置において、 被測定物が外部環境によって振動する振動変位を取得する手段と、 該振動変位を、前記時間相関イメージセンサに与える参照信号に合成して、外部振動の影響をキャンセルする手段と、 を備えたことを特徴とする三次元形状検査装置。

IPC (1)：

G01B 11/24

FI (1)：

G01B11/24 D

F-Term (28)：

2F065AA24 ,  2F065AA53 ,  2F065BB05 ,  2F065CC25 ,  2F065DD06 ,  2F065DD14 ,  2F065FF52 ,  2F065FF55 ,  2F065FF67 ,  2F065GG22 ,  2F065GG24 ,  2F065HH04 ,  2F065HH13 ,  2F065JJ00 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ17 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL00 ,  2F065LL22 ,  2F065MM03 ,  2F065MM14 ,  2F065PP12 ,  2F065QQ03 ,  2F065QQ04 ,  2F065QQ14 ,  2F065QQ33 ,  2F065RR06 ,  2F065UU05

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (4)

• 特公平6-1167号公報
  
• バンプ高さ測定方法及び装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-029130   Applicant：株式会社東京精密
• 3次元形状測定装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平11-119993   Applicant：オリンパス光学工業株式会社
• 特許3643210号公報