ガスセンサ

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (2)：三好秀和 , 伊藤正和
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2008165387
Publication number (International publication number)：2010008122
Application date： Jun. 25, 2008
Publication date： Jan. 14, 2010
Summary：

【課題】外部回路を用いることなく感ガス用抵抗素子の電気特性を調整する。【解決手段】基板1の一表面上には、検知対象ガスの付着に応じて抵抗値が変化するナノ構造炭素材料からなる感ガス用抵抗体2が露設されている。感ガス用抵抗体2の一端には電源電圧パッド3が接続され、他端には接続配線4が接続されている。基板1の一表面上には、表面がパッシベーション膜により覆われたナノ構造炭素材料からなる基準用抵抗体5が配設されている。基準用抵抗体5の一端は接続配線4に接続され、他端は接地電極パッド6に接続されている。基準用抵抗体5内及び接続配線4からは複数の配線が引き出され、各配線の端部には出力端子用パッド7a〜7dが接続されている。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

基板と、前記基板の一表面側に露設され、検知対象ガスの接触に応じて抵抗値が変化するナノ構造炭素材料からなる感ガス用抵抗体が一対の電極間に設けられた感ガス用抵抗素子と、前記基板の前記一表面側に形成され、パッシベーション膜により覆われたナノ構造炭素材料からなる基準用抵抗体が一つの電極間に設けられた基準用抵抗素子と、前記基板の前記一表面側に形成され、前記感ガス用抵抗素子と前記基準用抵抗素子とを直列接続する配線と、前記感ガス用抵抗素子と前記基準用抵抗素子の直列回路の両端に設けられたパッドと、前記基準用抵抗素子内又は前記感ガス用抵抗素子と前記基準用抵抗素子の接続点から引き出された複数の配線に接続された複数の出力端子用パッドとを備えることを特徴とするガスセンサ。

IPC (1)：

G01N 27/12

FI (2)：

G01N27/12 B , G01N27/12 C

F-Term (11)：

2G046AA24 , 2G046BA01 , 2G046BA09 , 2G046BB02 , 2G046BB04 , 2G046BC01 , 2G046BC07 , 2G046DC13 , 2G046EB01 , 2G046FB00 , 2G046FE38

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (7)

ガスセンサ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2003-117495 Applicant：松下電工株式会社
湿度センサの校正方法およびそれを用いた湿度センサ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2000-351683 Applicant：タバイエスペック株式会社
ガス検出装置とその調整方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-259264 Applicant：フィガロ技研株式会社

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Cited by examiner (7)

ガスセンサ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2003-117495 Applicant：松下電工株式会社
湿度センサの校正方法およびそれを用いた湿度センサ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2000-351683 Applicant：タバイエスペック株式会社
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Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-259264 Applicant：フィガロ技研株式会社

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