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J-GLOBAL ID：201102213743884349   Reference number：11A1600496

CNT実装MEMS共振型ガスセンサの開発

Author (8)： KISHIHARA HIROYUKI (神戸大 大学院工学研究科) ,  HARA TAKUYA (神戸大 大学院工学研究科) ,  ZHENG Bin (奈良先端科学技術大学院大) ,  URAOKA YUKIHARU (奈良先端科学技術大学院大) ,  YAMASHITA ICHIRO (奈良先端科学技術大学院大) ,  MATSUZUKA NAOKI (立命館大) ,  HANASAKI ITSUO (神戸大 大学院工学研究科) ,  ISONO YOSHITADA (神戸大 大学院工学研究科)
Material： センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム(CD-ROM)  (センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム論文集(CD-ROM))
Volume： 28th  Page： ROMBUNNO.P4-1  Publication year： Sep. 26, 2011 
JST Material Number： X0768B  Document type： Proceedings
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *gas sensor ,  carbon nanotube ,  *MEMS ,  resonator ,  ferritin ,  chemical vapor deposition
Semi thesaurus term： *CNT ,  CVD

JST classification (1)： Analytical instruments  (CC02020S)

Terms in the title (6)： CNT ,  実装 ,  MEMS ,  共振 ,  ガスセンサ ,  開発