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J-GLOBAL ID：201102221030929825   Reference number：11A0582297

Investigation of Sensitivity of Two-Dimensional Integrated Magnetic Sensor Fabricated in Sub-micron CMOS Process

イメージセンシング技術とその応用 サブミクロンプロセスで製造された2次元集積化磁気センサにおける感度特性に関する研究

Author (3)： KIMURA TAKAYUKI (茨城大 工) ,  FURUYA HITOSHI (茨城大 大学院理工学研究科) ,  MASUZAWA TOORU (茨城大 工)
Material： 映像情報メディア学会誌  (映像情報メディア)
Volume： 65  Issue： 3  Page： 364-366  Publication year： Mar. 01, 2011 
JST Material Number： F0330A  ISSN： 1342-6907  Document type： Article
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *magnetic sensor ,  *artificial heart ,  motor ,  sensitivity (ratio) ,  integrated circuit ,  impeller ,  *Miniaturization ,  CMOS structure ,  semiconductor process ,  *Hall sensor ,  *artificial implant ,  *modification ,  MOS structure
Semi thesaurus term： magnetic levitation motor ,  impeller

JST classification (1)： Measuring methods and instruments of magnetism  (AD07060U)

Reference (5)：

• 1) T. Kimura, K. Takasaki, T. Masuzawa : “Characteristics of a Two-dimensional Integrated Magnetic Sensor for Position Sensing and Motor Control”, IEEJ Trans. Electrical and Electronic Engineering, 1, 2, pp. 188-193 (2006)
• 2) 木村, 横山, 増澤 : “二次元集積化磁気センサのフレームレート向上に関する研究”, 映情学誌,64, 3, pp. 416-418 (2010)
• 3) R. V. Gallagher and W. S. Corak : “A Metal-Oxide-Semiconductor (MOS) HALL Element”, Solid-State Electronics, 9, pp. 571-580 (1966)
• 4) H. M. Yang, Y. C. Huang, T. Fu Lei, C. L. Lee, S. C. Chao : “High-resolution MOS magnetic sensor with thin oxide in standard submicron CMOS process”, Sensors and Actuators A 57, pp. 9-13 (1996)
• 5) N. Mathieu, P. Giordano, A. Chovet : “Si MAGFETs optimized for sensitivity and noise properties”, Sensors and Actuators A 32, pp. 656-660 (1992)

Terms in the title (6)： 応用 ,  2次元 ,  集積化 ,  磁気センサ ,  感度特性 ,  研究