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J-GLOBAL ID：201102243026676967   Reference number：11A1453548

Development of Fabrication Process for Large-Displacement Polymer MEMS with Stacked Movable Structures Based on Hot Embossing and Polishing

ホットエンボスおよび研磨加工による可動構造を接合積層した大変位ポリマーMEMSの製作プロセス開発

Author (3)： AMAYA SATOSHI (立命館大 大学院理工学研究科) ,  DAO Viet Dzung (立命館大 総合理工学研究機構) ,  SUGIYAMA SUSUMU (立命館大 立命館グローバル・イノベーション研究機構)
Material： エレクトロニクス実装学会誌  (Journal of Japan Institute of Electronics Packaging)
Volume： 14  Issue： 6  Page： 507-512  Publication year： Sep. 01, 2011 
JST Material Number： S0579C  ISSN： 1343-9677  Document type： Article
Article type： 解説  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *embossing(plastic working) ,  *polishing(machining) ,  *MEMS ,  *polymer membrane ,  polymethyl methacrylate ,  activation ,  gold ,  sputtering ,  covering ,  microactuator ,  mobile type ,  drive
Semi thesaurus term： hot embossing ,  surface activation ,  heat drive

JST classification (1)： Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V)

Reference (12)：

• 1) 倉林活夫:“「ポリマーMEMS」をSi上に形成“柔軟・透明”を生かしバイオ・光へ,”NIKKEIMICRODEVICES, May, 2005, pp. 71–76
• 2) A. Yeniay, R. Gao, K. Takayama, R. Gao, and A. Garito: “Ultra-Low-Loss Polymer Waveguides,” IEEE J. Lightwave Technology, Vol. 22, pp. 154–158, 2004
• 3) H. Shinohara, Y. Takahashi, T. Nishi, K. Uemura, C. Takahashi, J. Mizuno, and S. Shoji: “Surface Hydrophilic Polyurea Film for PMMA Blood Analysis Chip Realized by Vacuum Ultraviolet Light Irradiation,” Tech. Digest Transducers '07, pp. 291–294
• 4) C.-L. Chen, S. Jinno, H. Möller, B. Rajalingam, S.-H. Chao, S. Selvarasah, A. Khademhosseini, and M. R. Dokmeci: “Multiplayer Parylene-C Stencils for Dynamically Controlling Cell Interactions,” Proceedings of MEMS 2008, pp. 276–279
• 5) Y. Zhao and T. Cui: “Fabrication of High-Aspect-Ratio Polymer Based Electrostatic Comb Drives Using the Hot Embossing Technique,” J. Micromech. Microeng., Vol. 13, pp. 430–435, 2003

Terms in the title (7)： エンボス ,  研磨加工 ,  大変位 ,  ポリマー ,  MEMS ,  製作プロセス ,  開発