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J-GLOBAL ID：201102285187101691   Reference number：11A0174228

Fabrication of Ferroelectric Microstructures by Electron-Beam-Induced Patterning Process

電子ビーム誘起パターン形成工程による強誘電体微細構造の作製

Author (3)： FUJII Tadashi (Toyama Prefectural Univ., Toyama, JPN) ,  KAWACHI Tomoyasu (Toyama Prefectural Univ., Toyama, JPN) ,  ADACHI Masatoshi (Toyama Prefectural Univ., Toyama, JPN)
Material： Ferroelectrics
Volume： 406  Page： 1360-1367  Publication year： Aug. 2010 
JST Material Number： D0777A  ISSN： 0015-0193  CODEN： FEROA8  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *dielectric thin film ,  ferroelectrics ,  *thin film condenser ,  electron beam lithography ,  scanning electron microscope ,  pattern formation ,  *fine patterning ,  response ,  piezoelectric material ,  micro structure ,  tantalate ,  strontium compound ,  bismuth compound ,  piezoelectric response
Semi thesaurus term： lift off ,  piezoelectric thin film ,  Lead-free material

JST classification (1)： Thin films of other inorganic compounds  (BK14060A)

Terms in the title (6)： 電子ビーム ,  誘起 ,  形成工程 ,  強誘電体 ,  微細構造 ,  作製