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J-GLOBAL ID：201103010208060081

電子顕微鏡装置及び電子顕微鏡による試料像再生方法

Inventor： 志水 隆一 ,  安藤 俊行 ,  木村 吉秀
Applicant, Patent owner： 大阪大学長
Agent (1)： 杉村 暁秀 (外8名)
Gazette classification：特許公報
Application number (International application number)：1997077863
Publication number (International publication number)：1998275580
Patent number：3118559
Application date： Mar. 28, 1997
Publication date： Oct. 13, 1998
Claim (excerpt)：

【請求項1】 電子ビームを発生する電子銃と、発生した電子ビームを観察すべき試料に対してホローコーン照射する手段と、ホローコーン照射する際、照射ビームに照射電子量の重み付けを与える手段と、試料で散乱した電子ビームを結像して試料像を形成する対物レンズと、対物レンズのフォーカスを変化させる手段と、試料像を撮像する撮像装置とを具え、デフォーカス量と重み付け量との関係を規定する重み付け関数にしたがって照射電子ビームに重み付けを与えながらデフォーカス画像を撮像し、撮像された画像情報を演算処理して試料像を形成することを特徴とする電子顕微鏡装置。

IPC (2)：

H01J 37/153 ,  H01J 37/22 501

FI (2)：

H01J 37/153 A ,  H01J 37/22 501 A

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 特開昭60-105149
  
• 粒子-光学装置の物体像形成方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-209829   Applicant：フィリップスエレクトロニクスネムローゼフェンノートシャップ
• 特開平4-233150
  
• 特開昭60-105548