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J-GLOBAL ID：201103012121991251

水素含有非晶質硬質炭素被覆部材及びその製造方法

Inventor：
辻 勝啓

About 辻 勝啓


Applicant, Patent owner：
株式会社リケン

About 株式会社リケン


Agent (1)： 高石 橘馬
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2010008923
Publication number (International publication number)：2011149035
Application date： Jan. 19, 2010
Publication date： Aug. 04, 2011
Summary：
【課題】エンジン部品等の高負荷条件で使用可能な良好な耐摩耗性を備えた水素含有非晶質硬質炭素被覆部材を提供する。また、高負荷条件での使用においても耐摩耗性に優れた水素含有非晶質硬質炭素被覆部材の製造方法を提供する。【解決手段】比較的平滑な表面が得られる水素含有非晶質炭素被膜において、この水素含有非晶質炭素被膜中に同じ非晶質の炭素微粒子を分散して、平滑な表面と被膜全体の硬度を維持したまま耐欠け性を向上させる。具体的には、アーク放電によってアーク式蒸発源の炭素カソードより放出される微粒子を被膜中に取り込むことによって、水素含有非晶質炭素被膜に同じ非晶質の炭素微粒子を分散する。【選択図】図1(a)
Claim (excerpt)：
実質的に炭素及び水素からなる水素含有非晶質炭素被膜中に、平均粒径0.05μm以上0.5μm以下の実質的に炭素及び水素からなる非晶質炭素微粒子が分散した水素含有非晶質硬質炭素被覆部材。
IPC (3)：
C23C 14/06 ,  C01B 31/02 ,  C23C 30/00
FI (3)：
C23C14/06 F ,  C01B31/02 101Z ,  C23C30/00 C
F-Term (34)：
4G146AA01 ,  4G146AA17 ,  4G146AB07 ,  4G146AD02 ,  4G146BA12 ,  4G146BA48 ,  4G146BC08 ,  4G146BC17 ,  4G146BC25 ,  4G146BC31A ,  4G146BC31B ,  4K029AA02 ,  4K029AA24 ,  4K029BA07 ,  4K029BA17 ,  4K029BA34 ,  4K029BB07 ,  4K029BC02 ,  4K029BD04 ,  4K029CA04 ,  4K029DD06 ,  4K029FA05 ,  4K030AA06 ,  4K030AA10 ,  4K030AA16 ,  4K030BA37 ,  4K030CA02 ,  4K030FA01 ,  4K030LA23 ,  4K044AA02 ,  4K044BA18 ,  4K044BB11 ,  4K044BC06 ,  4K044CA13
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (5)
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