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J-GLOBAL ID：201103035521892368

位相ロックイン型高周波走査トンネル顕微鏡

Inventor： 遠藤 勝義 ,  稲垣 耕司 ,  有馬 健太
Applicant, Patent owner： 財団法人大阪産業振興機構 ,  国立大学法人大阪大学
Agent (2)： 柳野 隆生 ,  森岡 則夫
Gazette classification：特許公報
Application number (International application number)：2008503779
Patent number：4590574
Application date： Feb. 23, 2007
Claim (excerpt)：

【請求項1】 探針先端と試料の間隔を極めて接近させ、探針と試料間に印加したバイアス電圧によってトンネル電流を生じさせ、このトンネル電流を一定に維持する条件でフィードバック信号を駆動系に与えて探針を試料表面に沿って相対的に走査し、試料表面の原子スケールの像を観察する走査トンネル顕微鏡であって、前記探針と試料間に矩形波若しくは正弦波の高周波バイアス電圧を印加するバイアス電源と、探針と試料間に流れるトンネル電流と浮遊容量由来の電流が混合した検出電流を増幅する電流アンプと、電流アンプで増幅した電流を入力し、サンプリング信号を高周波バイアス電圧の周波数に同期させ且つ高周波バイアス電圧の位相にロックさせて、浮遊容量由来の電流を除去してトンネル電流のみによるフィードバック信号を発生させる、位相ロックイン機能を有する信号処理手段とを備えたことを特徴とする位相ロックイン型高周波走査トンネル顕微鏡。

IPC (1)：

G01Q 60/10 ( 201 0.01)

FI (1)：

G01N 13/12 101

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (3)

• 特開平4-225104
  
• 特開昭63-142202
  
• 高周波パルス走査トンネル顕微鏡
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2001-177564   Applicant：森勇蔵