レジストパターン形成方法、ネガ型現像用レジスト組成物

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (4)：棚井澄雄 , 志賀正武 , 鈴木三義 , 五十嵐光永
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2010146284
Publication number (International publication number)：2011191727
Application date： Jun. 28, 2010
Publication date： Sep. 29, 2011
Summary：

【課題】有機溶剤を含有する現像液を用いたネガ型現像プロセスにより、微細なレジストパターンを良好なリソグラフィー特性にて形成できるレジストパターン形成方法、該方法に用いられるネガ型現像用レジスト組成物の提供。【解決手段】酸の作用により有機溶剤に対する溶解性が減少する基材成分(A)、露光により酸を発生する酸発生剤(B)を含有するレジスト組成物を用いて支持体上にレジスト膜を形成する工程、該レジスト膜を露光する工程、該レジスト膜を、前記有機溶剤を含有する現像液を用いたネガ型現像によりパターニングしてレジストパターンを形成する工程、を含むレジストパターン形成方法であって、前記(A)として酸の作用により親水性が増大する酸分解性基を含むアクリル酸エステルから誘導される構成単位(a1)、-SO2-含有環式基を含むアクリル酸エステルから誘導される構成単位(a0)を有する樹脂成分(A1)を用いる。【選択図】なし

Claim (excerpt)：

酸の作用により有機溶剤に対する溶解性が減少する基材成分(A)と、露光により酸を発生する酸発生剤成分(B)とを含有するレジスト組成物を用いて支持体上にレジスト膜を形成する工程、前記レジスト膜を露光する工程、および前記レジスト膜を、前記有機溶剤を含有する現像液を用いたネガ型現像によりパターニングしてレジストパターンを形成する工程、を含むレジストパターン形成方法であって、前記基材成分(A)として、酸の作用により親水性が増大する酸分解性基を含むアクリル酸エステルから誘導される構成単位(a1)と、-SO2-含有環式基を含むアクリル酸エステルから誘導される構成単位(a0)とを有する樹脂成分(A1)を用いることを特徴とするレジストパターン形成方法。

IPC (4)：

G03F 7/038 , G03F 7/039 , H01L 21/027 , C08F 20/10

FI (4)：

G03F7/038 601 , G03F7/039 601 , H01L21/30 502R , C08F20/10

F-Term (48)：

2H125AF17P , 2H125AF18P , 2H125AF38P , 2H125AF45P , 2H125AF70P , 2H125AH17 , 2H125AH19 , 2H125AH23 , 2H125AJ14X , 2H125AJ65X , 2H125AJ68X , 2H125AJ69X , 2H125AN02P , 2H125AN21P , 2H125AN38P , 2H125AN39P , 2H125AN42P , 2H125AN54P , 2H125AN63P , 2H125AN65P , 2H125BA01P , 2H125BA02P , 2H125BA26P , 2H125CA12 , 2H125CB09 , 2H125CC01 , 2H125CC03 , 2H125CC15 , 2H125FA05 , 2H125FA23 , 4J100AL08P , 4J100AL08Q , 4J100AL08R , 4J100AL08S , 4J100BA03R , 4J100BA11Q , 4J100BA15Q , 4J100BC04P , 4J100BC09P , 4J100BC09R , 4J100BC84Q , 4J100CA04 , 4J100CA05 , 4J100CA06 , 4J100FA03 , 4J100FA19 , 4J100GC07 , 4J100JA38

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

ポジ型レジスト組成物及びそれを用いたパターン形成方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2005-282114 Applicant：富士フイルム株式会社
ネガ型現像用レジスト組成物及びこれを用いたパターン形成方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2007-190971 Applicant：富士フイルム株式会社

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