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J-GLOBAL ID：201103057838464063

微細構造化製品を製造する方法

Inventor：
ルンドワル、アクセル

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ニコライェーフ、フレドリク

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グスタフソン、フレドリク

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エクルンド、ロベルト

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Applicant, Patent owner：
ローリング オプティクス エービー

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Agent (10)： 特許業務法人浅村特許事務所 ,  浅村 皓 ,  浅村 肇 ,  水本 義光 ,  森 徹 ,  吉田 裕 ,  白江 克則 ,  田中 正 ,  金井 建 ,  橋本 裕之
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：2010540618
Publication number (International publication number)：2011508907
Application date： Dec. 19, 2008
Publication date： Mar. 17, 2011
Summary：
本発明により、両面微細構造化製品を製造する方法、及びこの方法のために使用することができる位置決め構造が提供される。この方法には、基板シート50の第1の表面に一次製品フィーチャ80を提供するステップ800と、反対側の表面に二次製品フィーチャ90を提供するステップ810と、位置合わせパラメータを推定するために、一次製品フィーチャ及び二次製品フィーチャ80、90の相互位置合わせを表示するステップ820と、一次製品フィーチャ及び二次製品フィーチャ80、90の準備を位置合わせさせるステップ830が含まれている。位置決め構造は、第1の表面に集束エレメント20の位置決めアレイを備えており、また、反対側の表面に、一次製品フィーチャ及び二次製品フィーチャ80、90と位置合わせされた、製品フィーチャの80、90の位置合わせを推定するために基準オブジェクト30のホログラフィ表現10を提供する、基準オブジェクト30の位置決めアレイを備えている。
Claim (excerpt)：
両面微細構造化製品を製造する方法であって、 (800)基板シート(50)の第1の表面に一次製品フィーチャ(80)を提供するステップと、 (810)前記基板シート(50)の反対側の表面に二次製品フィーチャ(90)を提供するステップと、 (820)位置合わせパラメータを推定するために、前記一次製品フィーチャ及び二次製品フィーチャ(80、90)の相互位置合わせを表示するステップと、 (830)製品フィーチャを提供する少なくとも1つのステップを位置合わせパラメータのフィードバックによって制御することによって一次製品フィーチャ及び二次製品フィーチャ(80、90)の準備を位置合わせさせるステップと を含む方法。
IPC (4)：
G03F 9/00 ,  G03F 7/20 ,  H01L 21/027 ,  G01B 11/00
FI (4)：
G03F9/00 Z ,  G03F7/20 501 ,  H01L21/30 506N ,  G01B11/00 G
F-Term (17)：
2F065AA04 ,  2F065AA20 ,  2F065CC21 ,  2F065CC25 ,  2F065FF06 ,  2F065FF54 ,  2F065GG21 ,  2F065JJ12 ,  2F065LL10 ,  2F065QQ16 ,  2H097AA01 ,  2H097KA13 ,  2H097KA15 ,  2H097KA20 ,  2H097KA22 ,  2H097KA29 ,  5F046FC09
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (5)
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