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J-GLOBAL ID：201103080776699397

マイクロミリングシステムおよびその制御方法

Inventor：
坂井 三郎

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高安 克己

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デイビッド デットマン

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Applicant, Patent owner：
独立行政法人海洋研究開発機構

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国立大学法人島根大学

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Agent (1)： 大井 正彦
Gazette classification：特許公報
Application number (International application number)：2005161020
Publication number (International publication number)：2006334704
Patent number：4203860
Application date： Jun. 01, 2005
Publication date： Dec. 14, 2006
Claim (excerpt)：
【請求項1】 マイクロミルおよび試料映像撮影表示機構を備えてなるマイクロミリングシステムの制御方法であって、 マイクロミルが、試料載置用のステージと、このステージに固定的に保持された試料を切削する回転切削ドリルと、前記ステージと回転切削ドリルとを相対的に移動させる移動機構とを備えてなり、 試料映像撮影表示機構が、前記ステージ上の試料の拡大された平面映像を撮像する、その視野における光軸がステージに対して傾斜している撮像手段と、映像表示手段とよりなり、 試料の表面において選択された互いに離間する2つの基準点および当該2つの基準点を結ぶ直線から離間した第3の基準点のそれぞれに回転切削ドリルの切削端を位置させたときにおける、ステージについて設定された第1のX-Y座標系における切削ドリルの切削端の座標位置による切削ドリル位置情報を得ると共に、 試料映像撮影表示機構による試料の映像の場について設定された第2のX-Y座標系における上記3つの基準点にそれぞれ対応する3つの参照点の座標位置を表す参照点位置情報を得、 前記3つの基準点についての切削ドリル位置情報と、前記3つの参照点についての参照点位置情報とより得られる前記第1のX-Y座標系と第2のX-Y座標系との間における座標変換関数を利用して、第2のX-Y座標系において指定される目標切削点に回転切削ドリルの切削端が位置されるよう移動機構が制御されることを特徴とするマイクロミリングシステムの制御方法。
IPC (6)：
B23Q 15/00 ( 200 6.01) ,  G01B 11/00 ( 200 6.01) ,  G01N 1/04 ( 200 6.01) ,  G01N 1/28 ( 200 6.01) ,  G05B 19/18 ( 200 6.01) ,  B28D 1/18 ( 200 6.01)
FI (6)：
B23Q 15/00 309 A ,  G01B 11/00 H ,  G01N 1/04 F ,  G01N 1/28 G ,  G05B 19/18 A ,  B28D 1/18
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (3)

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