プラズマディスプレイパネルの製造方法

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (3)：内藤浩樹 , 永野大介 , 藤井兼太郎
Gazette classification：特許公報
Application number (International application number)：2004109815
Publication number (International publication number)：2004319473
Patent number：4691896
Application date： Apr. 02, 2004
Publication date： Nov. 11, 2004
Claim (excerpt)：

【請求項1】基板を基板保持具に保持させて成膜を行う成膜工程を有するプラズマディスプレイパネルの製造方法において、成膜に際し、成膜室内には複数の基板保持具が配置され、前記基板保持具は繰り返し使用し、前記成膜工程は、繰り返し使用することにより膜が付着した状態となっている前記基板保持具と、付着した膜を除去した状態とした前記基板保持具とを、前記成膜室内に混在させて行い、前記成膜室内において、繰り返し使用することにより膜が付着した状態となっている前記基板保持具の数が、付着した膜を除去した状態とした前記基板保持具の数より多いことを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。

IPC (2)：

H01J 9/02 ( 200 6.01) , H01J 11/02 ( 200 6.01)

FI (2)：

H01J 9/02 F , H01J 11/02 B

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (7)

トレイ搬送式成膜装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-315870 Applicant：アネルバ株式会社
長尺材料の表面処理用治具、該冶具の補助具及び長尺材料の両面に薄膜を形成する方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-051004 Applicant：三菱化学株式会社
磁気記録媒体の製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-196607 Applicant：三菱化学株式会社

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