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J-GLOBAL ID:201103086748780632

三次元形状測定方法および装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (5): 棚井 澄雄 ,  志賀 正武 ,  鈴木 三義 ,  高柴 忠夫 ,  増井 裕士
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2009143111
Publication number (International publication number):2011002240
Application date: Jun. 16, 2009
Publication date: Jan. 06, 2011
Summary:
【課題】三次元形状測定方法および装置において、例えば、ハレーション等の被測定物の表面の反射特性による反射光のノイズ成分を低減し、被測定物の表面の測定不能域を低減することができるようにする。【解決手段】三次元形状測定装置100は、被測定物1にパターン光12bを投影するプロジェクタ2と、パターン光12bが投影された被測定物1を撮像して、被測定物1の表面からの反射光画像を取得するCCDカメラ3と、反射光画像から被測定物1の三次元形状を算出する演算部4と、被測定物1とCCDカメラ3との間に配置された偏光フィルタ9と、プロジェクタ2と被測定物1との間に配置された偏光フィルタ7とを備え、偏光フィルタ7、9は、透過軸の方向を調整可能に設けられている。【選択図】図1
Claim (excerpt):
被測定物に形状測定用のパターン光を投影して、前記被測定物の表面からの反射光による反射光画像を取得し、該反射光画像から前記被測定物の三次元形状を算出する三次元形状測定方法であって、 前記形状測定用のパターン光および前記被測定物の表面からの反射光の少なくともいずれかを偏光光学素子に通してから、前記反射光画像を取得することを特徴とする三次元形状測定方法。
IPC (1):
G01B 11/25
FI (1):
G01B11/25 H
F-Term (31):
2F065AA53 ,  2F065BB05 ,  2F065DD02 ,  2F065DD04 ,  2F065DD11 ,  2F065DD19 ,  2F065EE00 ,  2F065FF01 ,  2F065FF02 ,  2F065FF04 ,  2F065FF06 ,  2F065FF09 ,  2F065FF41 ,  2F065HH06 ,  2F065HH07 ,  2F065HH08 ,  2F065HH12 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ07 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL33 ,  2F065LL34 ,  2F065LL41 ,  2F065LL53 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ29 ,  2F065RR05 ,  2F065RR08 ,  2F065SS02 ,  2F065SS04 ,  2F065SS13
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (4)
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