Pat
J-GLOBAL ID：201103088854443141

検出器、インプリント装置及び物品の製造方法

Inventor：
佐藤 浩司

About 佐藤 浩司


Applicant, Patent owner：
キヤノン株式会社

About キヤノン株式会社


Agent (6)： 大塚 康徳 ,  高柳 司郎 ,  大塚 康弘 ,  木村 秀二 ,  下山 治 ,  永川 行光
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2009285744
Publication number (International publication number)：2011127979
Application date： Dec. 16, 2009
Publication date： Jun. 30, 2011
Summary：
【課題】マークの位置を容易に計測できる検出器を提供する。【解決手段】マーク6、7bの位置を検出する検出器5は、撮像素子と、前記マーク6、7bを前記撮像素子の撮像面に投影する光学系と、前記光学系を構成する光学素子の中で前記マーク6、7bが配置されるべき配置面に対して最も近くに配置された光学素子と前記撮像面との間であって前記配置面と光学的に共役な位置に配置されたパターンと、前記マーク6、7b及び前記パターンによって前記撮像面に形成されるモアレ模様に基づいて前記パターンの位置又は前記パターンの位置に対して既知の位置を基準とする前記マーク6、7bの位置を演算する処理部と、を備える。【選択図】図1
Claim (excerpt)：
マークの位置を検出する検出器であって、 撮像素子と、 前記マークを前記撮像素子の撮像面に投影する光学系と、 前記光学系を構成する光学素子の中で前記マークが配置されるべき配置面に対して最も近くに配置された光学素子と前記撮像面との間であって前記配置面と光学的に共役な位置に配置されたパターンと、 前記マーク及び前記パターンによって前記撮像面に形成されるモアレ模様に基づいて前記パターンの位置又は前記パターンの位置に対して既知の位置を基準とする前記マークの位置を演算する処理部と、 を備えることを特徴とする検出器。
IPC (2)：
G01B 11/00 ,  H01L 21/027
FI (2)：
G01B11/00 H ,  H01L21/30 502D
F-Term (20)：
2F065AA01 ,  2F065BB27 ,  2F065FF04 ,  2F065FF51 ,  2F065HH07 ,  2F065HH13 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ09 ,  2F065JJ19 ,  2F065JJ26 ,  2F065PP12 ,  2F065QQ08 ,  2F065QQ24 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ31 ,  2F065RR06 ,  2F065TT02 ,  2F065TT03 ,  5F046AA28 ,  5F146AA28
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (5)
Show all

Return to Previous Page

TOP

BOTTOM