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J-GLOBAL ID：200903099438844017

位置合わせ方法、インプリント方法、位置合わせ装置、及び位置計測方法

Inventor： 末平 信人 ,  関 淳一 ,  千徳 孝一 ,  稲 秀樹
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (2)： 西山 恵三 ,  内尾 裕一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2007108341
Publication number (International publication number)：2008221822
Application date： Apr. 17, 2007
Publication date： Sep. 25, 2008
Summary：

【課題】 新規な位置合わせ方法や位置合わせ装置、インプリント方法を提供する。【解決手段】 第1の本発明は、 第1のアライメントマーク104を有する第1の平板状物体と、第2のアライメントマーク113を有する第2の平板状物体とを対向させて配置する。そして、撮像素子が観測する撮像エリア内の互いに重ならない位置に、第1及び第2の領域を設けておき、2つの前記平板状物体の面内方向に略垂直な方向から、前記第1及び第2のアライメントマークを前記撮像素子で撮像する。そして、前記第1の領域内の予め定められた位置からの前記第1のアライメントマークのズレに関する第1の情報と、前記第2の領域内の予め定められた位置からの前記第2のアライメントマークのズレに関する第2の情報とを用いて、位置合わせ制御を行う。【選択図】 図1

Claim (excerpt)：

光源と撮像素子を用いて、2つの平板状物体の位置合わせを行う位置合わせ方法であって、 第1のアライメントマークを有する第1の平板状物体と、第2のアライメントマークを有する第2の平板状物体とを対向させて配置し、 撮像素子が観測する撮像エリア内の互いに重ならない位置に、第1及び第2の領域を設けておき、 2つの前記平板状物体の面内方向に略垂直な方向から、前記第1及び第2のアライメントマークを前記撮像素子で撮像し、 前記第1の領域内の予め定められた位置からの前記第1のアライメントマークのズレに関する第1の情報と、前記第2の領域内の予め定められた位置からの前記第2のアライメントマークのズレに関する第2の情報とを用いて、前記第1の平板状物体と前記第2の平板状物体との面内方向の位置を合わせるための位置合わせ制御を行い、且つ 前記位置合わせ制御を行いながら、前記第1の平板状部材と前記第2の平板状部材とのギャップを狭くして、3μm以下のギャップになるように調整することを特徴とする位置合わせ方法。

IPC (5)：

B29C 59/02 ,  H01L 21/027 ,  G03F 7/20 ,  B81C 5/00 ,  B29C 33/30

FI (5)：

B29C59/02 Z ,  H01L21/30 502D ,  G03F7/20 501 ,  B81C5/00 ,  B29C33/30

F-Term (32)：

2H097AA20 ,  3C081AA01 ,  3C081BA76 ,  3C081CA37 ,  4F202AA44 ,  4F202AF01 ,  4F202AF02 ,  4F202AF04 ,  4F202AJ06 ,  4F202AP06 ,  4F202AR07 ,  4F202CA19 ,  4F202CB01 ,  4F202CB29 ,  4F202CD23 ,  4F202CR06 ,  4F209AF01 ,  4F209AG05 ,  4F209AH33 ,  4F209AH73 ,  4F209AP06 ,  4F209AR07 ,  4F209PA02 ,  4F209PB01 ,  4F209PC01 ,  4F209PC05 ,  4F209PN06 ,  4F209PN13 ,  4F209PQ11 ,  5F046AA28 ,  5F046EC05 ,  5F046ED05

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (7)

• 米国特許第6696220号明細書
  
• 加工装置及び方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2004-173317   Applicant：キヤノン株式会社
• インプリント・リソグラフィ・プロセスおよびシステム
  Gazette classification：公表公報   Application number：特願2004-529089   Applicant：モレキュラー・インプリンツ・インコーポレーテッド
• 走査プローブ・ベースのリソグラフィ位置合わせ
  Gazette classification：公表公報   Application number：特願2002-575710   Applicant：ヒューレット・パッカード・カンパニー
• ナノインプリント装置及び方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2003-352744   Applicant：住友重機械工業株式会社
• 裏面アライメント機能を備えた露光装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平10-144160   Applicant：ウシオ電機株式会社
• 位置合わせシステム
  Gazette classification：公表公報   Application number：特願平7-514895   Applicant：デーイーケイプリンテイングマシーンズリミテツド

Cited by examiner (4)

• 加工装置及び方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2004-173317   Applicant：キヤノン株式会社
• インプリント・リソグラフィ・プロセスおよびシステム
  Gazette classification：公表公報   Application number：特願2004-529089   Applicant：モレキュラー・インプリンツ・インコーポレーテッド
• 走査プローブ・ベースのリソグラフィ位置合わせ
  Gazette classification：公表公報   Application number：特願2002-575710   Applicant：ヒューレット・パッカード・カンパニー
• ナノインプリント装置及び方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2003-352744   Applicant：住友重機械工業株式会社