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J-GLOBAL ID：201202217459207160   Reference number：12A1758662

FIBによるその場電顕観察用試料の作製と材料科学への応用-FIBとガラスマニピュレータによるTEM試料作製-

Author (2)： SUZUKI TOSHIAKI (日本電子) ,  TAKAHASHI YOSHIMASA (関西大 システム理工)
Material： まてりあ  (Materia Japan)
Volume： 51  Issue： 12  Page： 545-551  Publication year： Dec. 01, 2012 
JST Material Number： F0163A  ISSN： 1340-2625  CODEN： MTERE2  Document type： Article
Article type： 解説  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *focused ion beam ,  *transmission electron microscope ,  in situ observation ,  indenter ,  switching ,  materials science ,  *sample preparation ,  Glass ,  optical microscope ,  operation equipment ,  manipulator ,  electric field ,  fine patterning ,  material testing ,  strength ,  Copper ,  silicon nitride ,  lanthanum compound ,  strontium compound ,  manganate ,  cantilever beam ,  material strength ,  lanthanum strontium manganate ,  robot
Semi thesaurus term： domain switching

JST classification (1)： Microscopy determination of structures  (BK01040E)

Reference (20)：

• (1) E. Okunishi, H. Sawada and Y. Kondo: Micron, 43(2012), 538-544.
• (2) 杉山昌章,柴田昌照:日本電子ニュース,43(2011), 7-12.
• (3) T. Suzuki, N. Endo, M. Shibata, S. Kamasaki and T. Ichinokawa: J. Vac. Sci. Technol., A22(1), Jan/Feb(2004), 49(4pages).
• (4) 鈴木俊明:日本電子ニュース,40(2008), 52-53.
• (5) 鈴木俊明,遠藤徳明,奥西栄治,久芳聡子:日本電子ニュース,35(2003), 20-23.

Terms in the title (10)： FIB ,  電顕観察 ,  試料 ,  作製 ,  材料科学 ,  応用 ,  ガラス ,  マニピュレータ ,  TEM ,  試料作製