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J-GLOBAL ID：201202220604545487   Reference number：12A0103465

Structure and Tribological Behavior of Nitrogenated Diamond-Like Carbon Films Prepared by Plasma CVD

プラズマCVD法により作製した窒素添加DLCの構造とトライボロジー特性

Author (4)： YAMAMOTO SHUJI (三恵技研工業) ,  HIDAKA NORIAKI (早稲田大 大学院基幹理工学研究科) ,  KAWANA ATSUO (日本コーティングセ) ,  MASUDA CHITOSHI (早稲田大 大学院基幹理工学研究科)
Material： 表面技術  (Journal of the Surface Finishing Society of Japan)
Volume： 63  Issue： 1  Page： 35-40  Publication year： Jan. 01, 2012 
JST Material Number： G0441B  ISSN： 0915-1869  CODEN： HYGIEX  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *DLC film ,  nitrogen ,  electronic structure ,  *indentation hardness ,  electrical resistivity ,  Young's modulus ,  *friction coefficient

JST classification (2)： Carbon and its compounds  (YB02060D) ,  Thin films of other inorganic compounds  (BK14060A)

Reference (16)：

• 1) A. Y. Liu, M. L. Cohen ; Phys. Rev., B41, 10727 (1989).
• 2) 森河和雄, 三尾 淳 ; 東京都立産業技術研究所 研究発表会要旨集, Vol.2001, 28 (2001).
• 3) A. C. Ferrari, J. Robertson ; Phys. Rev. B, 61, 14095 (2000).
• 4) J. H. Kaufman, S. Metin ; Phys. Rev. B, 39, 13053 (1989).
• 5) J. Robertson ; Mater. Sci. Eng., R37, 129 (2002).

Terms in the title (5)： プラズマCVD法 ,  作製 ,  窒素添加 ,  DLC ,  トライボロジー特性