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J-GLOBAL ID：201202232532007386   Reference number：12A1154312

DLC膜の応用展開と国際標準化の最前線 中性子反射率法を用いたDLC膜の水素および密度の定量化

Author (1)： OZEKI KAZUHIDE (茨城大)
Material： 工業材料  (Engineering Materials)
Volume： 60  Issue： 9  Page： 29-33  Publication year： Sep. 01, 2012 
JST Material Number： F0172A  ISSN： 0452-2834  CODEN： KZAIA  Document type： Article
Article type： 解説  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *DLC film ,  film production ,  reflectivity ,  quantitative analysis (analytical chemistry) ,  density ,  *Hydrogen ,  measurement ,  neutron reflection ,  diamond-like carbon ,  research installation ,  scattering length ,  nondestructive inspection ,  content (quantity) ,  alkane ,  J-PARC ,  neutron reflectivity ,  reflectance measurement ,  density measurement

JST classification (2)： Thin films of other inorganic compounds  (BK14060A) ,  Carbon and its compounds  (YB02060D)

Substance index (1)： Methane

Terms in the title (8)： DLC膜 ,  応用 ,  展開 ,  標準化 ,  中性子反射率 ,  水素 ,  密度 ,  定量化