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J-GLOBAL ID：201202247330000999   Reference number：12A1174906

Fabrication of Antireflective Subwavelength-Grating Structures on Optical Fiber End Faces Using UV Nanoimprinting Technique

光ナノインプリント法による光ファイバ端面への反射防止サブ波長構造の製作

Author (3)： KANAMORI YOSHIAKI (東北大 大学院工学研究科) ,  OKOUCHI MASAAKI (東北大 工) ,  HANE KAZUHIRO (東北大 大学院工学研究科)
Material： 日本機械学会論文集 C編(Web)  (Transactions of the Japan Society of Mechanical Engineers. Series C (Web))
Volume： 78  Issue： 790  Page： 2322-2330 (WEB ONLY)  Publication year： 2012 
JST Material Number： U0184A  ISSN： 1884-8354  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： patterning (transcription) ,  pattern formation ,  *optical fiber ,  face ,  prevention ,  *periodic structure ,  optical communication ,  end face ,  *anti-reflection ,  *subwavelength structure
Semi thesaurus term： optical nano-imprint

JST classification (2)： Optical waveguide,optical fibers,and fiber optics  (BD06030H) ,  Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V)

Reference (16)：

• (1) Kanamori, Y., Sasaki, M., and Hane, K., “Broadband Antireflection Gratings Fabricated upon Silicon Substrates”, Optics Letters, Vol. 24, No. 20 (1999), pp. 1422-1424.
• (2) Kanamori, Y., Hane, K., Sai, H., and Yugami, H., “100 nm Period Silicon Antireflection Structures Fabricated Using a Porous Alumina Membrane Mask”, Applied Physics Letters, Vol. 78, No. 2 (2001), pp. 142-143.
• (3) Toyota, H., Takahara, K., Okano, M., Yotsuya, T., and Kikuta, H., “Fabrication of Microcone Array for Antireflection Structured Surface Using Metal Dotted Pattern”, Japanese Journal of Applied Physics, Vol. 40, No. 7B (2001), pp. L747-L749.
• (4) Kanamori, Y., Ishimori, M., and Hane, K., “High Efficient Light-Emitting Diodes with Antireflection Subwavelength Gratings”, IEEE Photonics Technology Letters, Vol. 14, No. 8 (2002), pp. 1064-1066.
• (5) Yanagishita, T., Nishio, K., and Masuda, H., “Anti-Reflection Structures on Lenses by Nanoimprinting Using Ordered Anodic Porous Alumina”, Applied Physics Express, Vol. 2 (2009), 022001.

Terms in the title (5)： 光ナノインプリント ,  光ファイバ ,  反射防止 ,  サブ波長構造 ,  製作