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J-GLOBAL ID：201202285132149374   Reference number：12A1711859

Fabrication of nanodot array mold with 2 Tdot/in.² for nanoimprint using metallic glass

金属ガラスを用いたナノインプリントのための2Tドット/インチ²のナノドットアレイ型の作製

Author (7)： FUKUDA Yasuyuki (BMG Co., Ltd., Sendai 983-0036, Japan and Dep. of Materials Processing, Graduate School of Engineering, Tohoku Univ. ...) ,  SAOTOME Yasunori (Kansai Center, Inst. for Materials Res., Tohoku Univ., Himeji, Hyogo 671-2280, JPN) ,  NISHIYAMA Nobuyuki (RIMCOF Tohoku Univ. Lab., The Materials Process Technol. Center, Sendai 980-8577, JPN) ,  TAKENAKA Kana (RIMCOF Tohoku Univ. Lab., The Materials Process Technol. Center, Sendai 980-8577, JPN) ,  SAIDOH Noriko (RIMCOF Tohoku Univ. Lab., The Materials Process Technol. Center, Sendai 980-8577, JPN) ,  MAKABE Eiichi (BMG Co., Ltd., Sendai 983-0036, JPN) ,  INOUE Akihisa (Tohoku Univ., Sendai 980-8577, JPN)
Material： Journal of Vacuum Science & Technology. B. Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena  (Journal of Vacuum Science & Technology. B. Nanotechnology & Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, & Phenomena)
Volume： 30  Issue： 6  Page： 061602-061602-7  Publication year： Nov. 2012 
JST Material Number： E0974A  ISSN： 2166-2746  CODEN： JVTBD9  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： magnetic disk ,  *metallic glass ,  compression forming ,  recording density ,  array ,  *mold and pattern ,  *silicon dioxide ,  printed board ,  chemical vapor deposition ,  focused ion beam ,  RIE ,  duplicate ,  Nanopores ,  storage device
Semi thesaurus term： data storage device ,  *nano-imprinting ,  *nano-dot array ,  *bit pattern media

JST classification (2)： Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V) ,  Electronic recording,magnetic recording,optical recording  (NC06020F)

Terms in the title (6)： 金属ガラス ,  ナノインプリント ,  ドット ,  インチ ,  ナノドットアレイ ,  作製