金属デポジションを用いたナノインプリント金型の製造方法

Inventor： , , , , ,
Applicant, Patent owner： ,
Agent (1)：永井冬紀
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2010282292
Publication number (International publication number)：2012126113
Application date： Dec. 17, 2010
Publication date： Jul. 05, 2012
Summary：

【課題】40nm以下のパターンピッチのナノインプリント金型を簡便に製造できる方法を提供する。【解決手段】本発明によるナノインプリント金型の製造では、SiO2層を設けたSi基板に、集束イオンビームを用いて所望の位置に金属を堆積し、この基板を加熱して、堆積した金属を凝集させて、ナノインプリント金型のパターンを形成する。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

SiO2層を設けた基板を準備する工程と、基板上に金型パターンに応じた複数の金属ドットを堆積する堆積工程と、前記基板を加熱し、堆積した金属を凝集させて、前記ナノインプリント金型のパターンを形成する加熱工程とを有することを特徴とするナノインプリント金型の製造方法。

IPC (3)：

B29C 33/38 , B29C 59/02 , H01L 21/027

FI (3)：

B29C33/38 , B29C59/02 B , H01L21/30 502D

F-Term (16)：

4F202AJ06 , 4F202AJ09 , 4F202CA09 , 4F202CA19 , 4F202CD23 , 4F202CD24 , 4F209AJ02 , 4F209AJ06 , 4F209AJ08 , 4F209AJ09 , 4F209PA02 , 4F209PB01 , 4F209PN06 , 4F209PQ11 , 5F046AA28 , 5F146AA28

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (6)

磁気記録媒体、金属ガラス基板、磁気記録媒体の製造方法、ナノ金型の製造方法および金属ガラス基板の製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2006-317543 Applicant：国立大学法人群馬大学, 国立大学法人東北大学, 株式会社BMG
特開平4-365044
特開昭61-058233

Show all

Return to Previous Page