SPMプローブおよび発光部検査装置

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：筒井大和
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2010188651
Publication number (International publication number)：2012047539
Application date： Aug. 25, 2010
Publication date： Mar. 08, 2012
Summary：

【課題】近接場光やマイクロ波のような微小スケールのエネルギー源の空間分布を広い測定範囲、高空間分解能で観測することができるSPMプローブを提供する。【解決手段】SPMカンチレバー1と、SPMカンチレバーの探針部に形成された熱抵抗2と、熱抵抗2の上に形成された絶縁膜3と、絶縁膜3の上に形成された微小スケールエネルギー源を熱に変換する1本の細線4とを備えた。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

微小スケールエネルギー源を検出するSPMプローブであって、 SPMカンチレバーと、前記SPMカンチレバーの探針部に形成された熱抵抗と、前記熱抵抗の上に形成された絶縁膜と、前記絶縁膜の上に形成された前記微小スケールエネルギー源を熱に変換する1本の細線とを備えたことを特徴とするSPMプローブ。

IPC (3)：

G01Q 60/22 , G01Q 60/32 , G01Q 70/00

FI (3)：

G01N13/14 101B , G01N13/16 101D , G12B1/00 601A

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (6)

特許第6566650号
走査型熱顕微鏡のプローブ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2006-257548 Applicant：鴻富錦精密工業(深セン)有限公司, ツィンファユニバーシティ
ナノスケールの熱センサ及び加熱プローブ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2006-035201 Applicant：国立大学法人九州大学

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