走査型熱顕微鏡のプローブ

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner： ,
Agent (4)：志賀正武 , 渡邊隆 , 村山靖彦 , 実広信哉
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2006257548
Publication number (International publication number)：2007086079
Application date： Sep. 22, 2006
Publication date： Apr. 05, 2007
Summary：

【課題】本発明は、走査型熱顕微鏡のプローブに関する。【解決手段】本発明に係る走査型顕微鏡のプローブは、カンチレバーと、該カンチレバーに形成される第一導電層と、該第一導電層に形成され、穴が設けられる絶縁層と、該絶縁層の表面に形成される第二導電層と、熱電対と、該熱電対の端部に設置されるカーボンナノチューブと、を含む。前記第一導電層は前記絶縁層の穴を通して前記第二導電層と接触して、前記熱電対が形成される。前記カーボンナノの一端は前記熱電対に接続される。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

カンチレバーと、該カンチレバーに形成される第一導電層と、該第一導電層に形成され、穴が設けられる絶縁層と、該絶縁層の表面に形成される第二導電層と、熱電対と、該熱電対の端部に設置されるカーボンナノチューブと、を含み、前記第一導電層は前記絶縁層の穴を通して前記第二導電層と接触して、前記熱電対が形成され、前記カーボンナノチューブの一端は前記熱電対に接続されることを特徴とする走査型熱顕微鏡のプローブ。

IPC (4)：

G01N 13/10 , G01N 25/18 , G12B 21/02 , G01K 7/02

FI (4)：

G01N13/10 H , G01N25/18 E , G12B1/00 601A , G01K7/02 A

F-Term (10)：

2F056KA03 , 2F056KA16 , 2G040AB08 , 2G040AB09 , 2G040BA25 , 2G040DA03 , 2G040DA12 , 2G040EA02 , 2G040EB02 , 2G040ZA01

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

薄膜熱電物質の熱的及び電気的特性を測定する方法及び装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2001-241316 Applicant：インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレーション
近接場光プローブ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2002-303342 Applicant：独立行政法人科学技術振興機構
カーボン・ナノチューブ作成方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2000-379334 Applicant：株式会社東北テクノアーチ

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Article cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

Ultra-Small Site Temperature Sensing by Carbon Nanotubes Thermal Probe
高圧ガス, 20040201, Vol.41,No.2, p91-95
三洋化成ニュース, 20050907, No.432, p14-18

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