カーボン細線プローブ

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner： ,
Agent (1)：最上健治
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2006057371
Publication number (International publication number)：2007232668
Application date： Mar. 03, 2006
Publication date： Sep. 13, 2007
Summary：

【課題】高アスペクト比で高耐久性及び高信頼性を備え、簡単な製造方法によりバッチ処理が可能で磁性特性を持たせることも可能な、SPMカンチレバーの探針などに好適なカーボン細線プローブを提供する。【解決手段】高エネルギーを照射することにより、カンチレバーの探針3の先端部3aに選択的に形成したCNT細線7に、Fe金属(内包金属)6aを内包させてカーボン細線プローブを構成する。【選択図】図 1

Claim (excerpt)：

高エネルギービームを照射することにより、突起状先端部にカーボン細線を選択的に形成してなるカーボン細線プローブにおいて、前記カーボン細線は金属を内包していることを特徴とするカーボン細線プローブ。

IPC (3)：

G01N 13/16 , G01N 13/22 , G12B 21/02

FI (5)：

G01N13/16 C , G01N13/16 A , G01N13/22 B , G01N13/22 A , G12B1/00 601A

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

ナノチューブ、ナノチューブプローブ及びそれらの製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-173106 Applicant：中山喜萬, 大研化学工業株式会社

Cited by examiner (5)

炭素ナノ構造体、その製造方法、その切断方法、それを有する探針および電界電子放出源
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2004-051727 Applicant：国立大学法人名古屋工業大学, トヨタ自動車株式会社
超微粒子内包巨大フラーレンおよびその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-126641 Applicant：新技術事業団, 田中俊一郎
ナノチューブ組立体から作製された巨視的操作可能なナノ規模の装置
Gazette classification：公表公報 Application number：特願平10-508225 Applicant：ウィリアム・マーシュ・ライス・ユニバーシティ

Show all

Return to Previous Page