Pat
J-GLOBAL ID：201203029203063767

シリコン基板の検査装置および検査方法

Inventor：
今川 剛

About 今川 剛

, 
藤原 敏彦

About 藤原 敏彦


Applicant, Patent owner：
三菱電機株式会社

About 三菱電機株式会社


Agent (1)： 酒井 宏明
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2011049434
Publication number (International publication number)：2012185091
Application date： Mar. 07, 2011
Publication date： Sep. 27, 2012
Summary：
【課題】シリコン基板の内部に存在するクラック等の欠陥を正確に検出可能とする、シリコン基板の検査装置および検査方法を得ること。【解決手段】赤外照明手段1とシリコン基板5との間の光路中に設けられ、直線偏光成分4を射出する第1の直線偏光フィルタ3と、シリコン基板5を透過した直線偏光成分4’を撮像する第1の撮像手段9および第2の撮像手段11と、シリコン基板5と第1の撮像手段9との間の光路中に設けられ、シリコン基板5の基板面に平行な方向に偏光方向が設定された第2の直線偏光フィルタ8と、シリコン基板5と第2の撮像手段11との間の光路中に設けられ、基板面に垂直な方向に偏光方向が設定された第3の直線偏光フィルタ10と、第1の撮像手段9から入力された画像データと、第2の撮像手段11から入力された画像データとを比較演算する画像処理手段12と、を有する。【選択図】図1
Claim (excerpt)：
被検査体であるシリコン基板へ向けて赤外照明光を供給する赤外照明手段と、 前記赤外照明手段と前記シリコン基板との間の光路中に設けられ、前記赤外照明光のうち、前記シリコン基板へ照射させる直線偏光成分を射出する第1の直線偏光フィルタと、 前記シリコン基板を透過した前記直線偏光成分を撮像する第1の撮像手段および第2の撮像手段と、 前記シリコン基板と前記第1の撮像手段との間の光路中に設けられ、前記シリコン基板の基板面に平行な方向に偏光方向が設定された第2の直線偏光フィルタと、 前記シリコン基板と前記第2の撮像手段との間の光路中に設けられ、前記基板面に垂直な方向に偏光方向が設定された第3の直線偏光フィルタと、 前記第1の撮像手段から入力された画像データと、前記第2の撮像手段から入力された画像データとを比較演算する画像処理手段と、 を有することを特徴とするシリコン基板の検査装置。
IPC (2)：
G01N 21/956 ,  G01N 21/88
FI (2)：
G01N21/956 A ,  G01N21/88 H
F-Term (11)：
2G051AA51 ,  2G051AB06 ,  2G051BA06 ,  2G051BA11 ,  2G051BB07 ,  2G051CA04 ,  2G051CA07 ,  2G051CB02 ,  2G051CC07 ,  2G051EA08 ,  2G051EA16
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (6)
Show all

Return to Previous Page

TOP

BOTTOM