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J-GLOBAL ID:200903024490983130
画像取り込み装置
Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
鈴江 武彦 (外4名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2002064137
Publication number (International publication number):2003263627
Application date: Mar. 08, 2002
Publication date: Sep. 19, 2003
Summary:
【要約】【課題】疑似欠陥の検出を抑制し、かつ標本からの反射光の画像データだけでなく、標本の透過光の画像データをも取得すること。【解決手段】ガラス基板1の移動方向と公差する方向にライン状の間隙が設けられ、ガラス基板1を一定速度で移送するコンベアステージ2と、コンベアステージ2と間隙に沿ってライン照明を照射する反射用ライン照明ユニット5と、ガラス基板1にライン照射されたガラス基板1からの光を撮像するラインセンサカメラ7と、ラインセンサカメラ7の撮像光路上であって、コンベアステージ2の間隙を挟んで反対側に設けられライン透過照明光を照射する透過用ライン照明ユニット6とを備えた。
Claim (excerpt):
標本に対して光を照射し、前記標本からの光を受光して前記標本の画像データを取得する画像取り込み装置において、前記標本の移動方向と公差する方向にライン状の間隙が設けられ、前記標本を一定速度で移送するコンベアステージと、前記コンベアステージと前記間隙に沿ってライン照明を照射する第1の光源と、前記標本にライン照射された前記標本からの光を撮像するラインセンサカメラと、前記ラインセンサカメラの撮像光路上であって、前記コンベアステージの前記間隙を挟んで反対側に設けられライン透過照明光を照射する第2の光源と、を具備したことを特徴とする画像取り込み装置。
IPC (3):
G06T 1/00 400
, G01N 21/896
, H04N 7/18
FI (3):
G06T 1/00 400 C
, G01N 21/896
, H04N 7/18 B
F-Term (22):
2G051AA42
, 2G051AB02
, 2G051BB02
, 2G051BB05
, 2G051CA04
, 2G051CA06
, 2G051CB01
, 2G051CB02
, 2G051CC07
, 2G051DA06
, 5B047AA11
, 5B047BC01
, 5B047BC07
, 5B047BC12
, 5B047CB11
, 5C054AA01
, 5C054AA05
, 5C054AA06
, 5C054CF06
, 5C054EA01
, 5C054HA03
, 5C054HA05
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (5)
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画像取り込み装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平10-240185
Applicant:オリンパス光学工業株式会社
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検査装置及び検査方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平5-252074
Applicant:アドモンサイエンス株式会社, 日本フェローフルイディクス株式会社
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特開平3-058175
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