含水切削液組成物およびその製造方法

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2011081145
Publication number (International publication number)：2012214638
Application date： Mar. 31, 2011
Publication date： Nov. 08, 2012
Summary：

【課題】本発明は脆性材料の切削工程において、従来品より低粘度かつ表面張力を低く調整することで加工後の表面精度と洗浄性に優れた含水切削液組成物;並びにこのような特性を有する含水切削液の工業的に有益な製造方法を提供することを目的とする。【解決手段】水100重量部に対して、アルキレングリコール(a)が10〜120重量部、ジアルキレングリコール(b)が20〜240重量部、トリアルキレングリコール(c)が10〜230重量部、およびアルキレンオキサイドの4量体以上のポリオキシアルキレングリコール(d)が0〜120重量部の含有比率からなり、かつ粘度が5〜18mPa・s、表面張力が48〜54mN/mであることを特徴とする含水切削液組成物【選択図】なし

Claim (excerpt)：

水100重量部に対して、アルキレングリコール(a)が10〜120重量部、ジアルキレングリコール(b)が20〜240重量部、トリアルキレングリコール(c)が10〜230重量部、およびアルキレンオキサイドの4量体以上のポリオキシアルキレングリコール(d)が0〜120重量部の含有比率からなり、かつ粘度が5〜18mPa・s、表面張力が48〜54mN/mであることを特徴とする含水切削液組成物(A)。

IPC (9)：

C10M 173/02 , H01L 21/304 , B28D 7/02 , B28D 5/04 , C10M 105/14 , C10M 105/18 , C10M 107/34 , C10M 129/16 , C10M 145/26

FI (9)：

C10M173/02 , H01L21/304 611W , B28D7/02 , B28D5/04 C , C10M105/14 , C10M105/18 , C10M107/34 , C10M129/16 , C10M145/26

F-Term (26)：

3C069AA01 , 3C069BA06 , 3C069CA01 , 3C069CA03 , 3C069CA04 , 3C069DA06 , 4H104BB04A , 4H104BB41A , 4H104BB41C , 4H104CB14A , 4H104CB14C , 4H104EA01Z , 4H104EA02Z , 4H104LA01 , 4H104LA20 , 4H104PA22 , 5F057AA03 , 5F057AA21 , 5F057AA28 , 5F057BA01 , 5F057BB03 , 5F057CA02 , 5F057DA15 , 5F057EA02 , 5F057EA21 , 5F057EA29

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (6)

固定砥粒ワイヤソー用水溶性加工液
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2009-166962 Applicant：ユシロ化学工業株式会社
ソーイング懸濁液及び結晶からウエハを切断する方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-223890 Applicant：ワッカー・ジルトロニク・ゲゼルシャフト・フュア・ハルブライターマテリアリエン・アクチェンゲゼルシャフト
ワイヤソー用切削油剤
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2004-300583 Applicant：パレス化学株式会社

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