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J-GLOBAL ID：200903049250911879

ワイヤソー用切削油剤

Inventor：
田中 和雄

About 田中 和雄

, 
井出 栄一

About 井出 栄一


Applicant, Patent owner：
パレス化学株式会社

About パレス化学株式会社


Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004300583
Publication number (International publication number)：2006111728
Application date： Oct. 14, 2004
Publication date： Apr. 27, 2006
Summary：
【課題】 ワイヤソー用切削油剤において、砥粒等の研磨材の沈降を抑制し、沈降した場合でも再分散を容易にし、しかもハードケーキの生成を防止すると共に砥粒を含有するスラリーが刃物となるワイヤー細線に均一にからみつくことにより、切断性の効率と精度を向上させ、切断後のウエハーの洗浄も容易にする。【解決手段】 本発明に関わるワイヤソー用切削油剤は、低分子量ポリアルキレングリコール(a)、低分子量グリコール、その二量体又は三量体(b)、ポリエーテル化合物(c)の中から選ばれる一種又は二種以上よりなる基材と、グラフト共重合体(d)とを必須成分として含有するものである。特に効果的なグラフト共重合体としては、アリルアルコール、無水マレイン酸およびスチレンの共重合体にポリオキシアルキレンモノアルキルエーテルをグラフト重合したものが挙げられる。
Claim (excerpt)：
低分子量ポリアルキレングリコール(a)、 低分子量グリコール、その二量体又は三量体(b)、および ポリエーテル化合物(c) の中から選ばれる一種又は二種以上よりなる基材と、グラフト共重合体(d)とを必須成分として含有するワイヤソー用切削油剤。
IPC (18)：
C10M 169/04 ,  B24B 27/06 ,  B24B 37/00 ,  B28D 1/08 ,  B28D 5/04 ,  C10M 105/14 ,  C10M 105/18 ,  C10M 107/34 ,  C10M 125/10 ,  C10M 125/22 ,  C10M 129/32 ,  C10M 129/34 ,  C10M 129/36 ,  C10M 129/50 ,  C10M 133/08 ,  C10M 145/36 ,  C10M 173/02 ,  H01L 21/304
FI (18)：
C10M169/04 ,  B24B27/06 D ,  B24B37/00 H ,  B28D1/08 ,  B28D5/04 C ,  C10M105/14 ,  C10M105/18 ,  C10M107/34 ,  C10M125/10 ,  C10M125/22 ,  C10M129/32 ,  C10M129/34 ,  C10M129/36 ,  C10M129/50 ,  C10M133/08 ,  C10M145/36 ,  C10M173/02 ,  H01L21/304 611W
F-Term (32)：
3C058AA05 ,  3C058CA04 ,  3C058CB01 ,  3C058CB03 ,  3C058DA02 ,  3C058DA03 ,  3C069AA01 ,  3C069BA06 ,  3C069CA03 ,  3C069CA04 ,  3C069DA06 ,  3C069EA01 ,  3C069EA02 ,  4H104AA01Z ,  4H104AA13C ,  4H104AA18C ,  4H104BB04A ,  4H104BB08A ,  4H104BB16C ,  4H104BB18C ,  4H104BB19C ,  4H104BB22C ,  4H104BB41A ,  4H104BE04C ,  4H104CB14A ,  4H104CB14C ,  4H104CB16C ,  4H104CB17C ,  4H104FA01 ,  4H104FA02 ,  4H104PA22 ,  4H104RA01
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (6)
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