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J-GLOBAL ID：201203072501060188
気液界面で共振するマイクロカンチレバーセンサ
朴 柾▲翌▼
, About 朴 柾▲翌▼
西田 周平
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About 西田 周平
Applicant, Patent owner：
財団法人生産技術研究奨励会
About 財団法人生産技術研究奨励会
Agent (1)： 清水 守
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2011010594
Publication number (International publication number)：2012150074
Application date： Jan. 21, 2011
Publication date： Aug. 09, 2012
Summary：
【課題】 気液界面でも安定した高い信号雑音比(SNR)を得ることができる、気液界面で共振するマイクロカンチレバーセンサを提供する。【解決手段】 気液界面で共振するマイクロカンチレバーセンサにおいて、シリコン薄膜に数μmの単位の幅のスリット2Bを形成することによって作製されたカンチレバー2Aを、気体と溶液の気液界面に配置することにより、気体4に面する面における親水性負荷を取り除き高い信号雑音比(SNR)が得られるようにし、レーザーを用いて駆動した前記カンチレバー2Aの共振周波数を前記気体4側に配置した監視装置5によって測定するようにした。【選択図】 図1
Claim (excerpt)：
シリコン薄膜に数μm単位の幅のスリットを形成することによって作製されたカンチレバーを、気体と溶液の気液界面に配置することにより、気体に面する面における親水性負荷を取り除き高い信号雑音比(SNR)が得られるようにし、レーザーを用いて駆動した前記カンチレバーの共振周波数を前記気体側に配置した監視装置によって測定するようにしたことを特徴とする気液界面で共振するマイクロカンチレバーセンサ。
IPC (5)：
FI (5)：
F-Term (8)：
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (4)
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調査/操作装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-015362 Applicant：インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション -
収着マイクロアレイ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2008-067776 Applicant：エフ.ホフマン-ラロシュアーゲー -
カンチレバーアレイ、その製造方法及びそれを用いた走査型プローブ顕微鏡、案内・回転機構の摺動装置、センサ、ホモダインレーザ干渉計、試料の光励振機能を有するレーザドップラー干渉計ならびにカンチレバーの励振方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2002-160482 Applicant：科学技術振興事業団
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