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J-GLOBAL ID:201203074238020322
液晶性ブロック共重合体塗膜、液晶性ブロック共重合体薄膜の製造方法及びパターン形成方法
Inventor:
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Applicant, Patent owner:
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Agent (6):
志賀 正武
, 高橋 詔男
, 渡邊 隆
, 鈴木 三義
, 西 和哉
, 村山 靖彦
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2011104466
Publication number (International publication number):2012233138
Application date: May. 09, 2011
Publication date: Nov. 29, 2012
Summary:
【課題】液晶性ブロック共重合体のミクロ相分離構造が一軸水平配向したナノパターンを有する良好な品質の液晶性ブロック共重合体薄膜を、大面積でも簡便に安定して製造する。【解決手段】表面をラビング処理した配向基板14上に、液晶性ブロック鎖(A)及び該液晶性ブロック鎖(A)と非相溶なブロック鎖(B)を有する液晶性ブロック共重合体(I)と、前記ブロック鎖(A)及びブロック鎖(B)の両方と非相溶な疎水性材料(II)を含む液晶性ブロック共重合体塗膜16Aを形成する工程と、液晶性ブロック共重合体塗膜16Aを加熱処理して液晶性ブロック共重合体薄膜前駆体を形成する工程と、前記液晶性ブロック共重合体薄膜前駆体から前記疎水性材料(II)を除去する工程を有する、液晶性ブロック共重合体薄膜の製造方法。【選択図】図2
Claim (excerpt):
液晶性ブロック鎖(A)及び該液晶性ブロック鎖(A)と非相溶なブロック鎖(B)を有する液晶性ブロック共重合体(I)100質量部、並びに前記ブロック鎖(A)及びブロック鎖(B)の両方と非相溶な疎水性材料(II)0.001〜1000質量部を含む液晶性ブロック共重合体塗膜。
IPC (5):
C08J 5/18
, C08L 53/00
, C08L 83/04
, B82Y 30/00
, B82Y 40/00
FI (5):
C08J5/18
, C08L53/00
, C08L83/04
, B82Y30/00
, B82Y40/00
F-Term (8):
4F071AA33X
, 4F071AA47X
, 4F071AA67
, 4F071BC01
, 4F071BC02
, 4J002BP03W
, 4J002CP03X
, 4J002GQ01
Patent cited by the Patent: