Art

J-GLOBAL ID：201302204675476810   Reference number：13A0839621

Development of Laser-Machinable Glass by Electric Field-Assisted Solid-State Ion Exchange-Numerical Analysis of Drift-Diffusion Behavior of Metal Ions in Glass Material-

固体イオン交換法によるレーザ加工用ガラスの開発-ガラス中での金属イオンの拡散・ドリフト挙動の数値解析-

Author (5)： MATSUSAKA SOTA (千葉大 大学院) ,  KOBAYAKAWA TOMOKO (千葉大 大学院) ,  KOBAYAKAWA TOMOKO (千葉市役所) ,  HIDAI HIROFUMI (千葉大 大学院) ,  MORITA NOBORU (千葉大 大学院)
Material： 精密工学会誌  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
Volume： 79  Issue： 5  Page： 455-459  Publication year： May. 05, 2013 
JST Material Number： F0268C  ISSN： 0912-0289  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *borosilicate glass ,  *laser beam machining ,  *micromachining ,  *Ion Exchange ,  *metal ion ,  electric field effect ,  laser irradiation ,  numerical solution ,  simulation ,  substrate (plate) ,  electric apparatus and parts ,  *ion diffusion ,  *drift (migration) ,  glass substrate ,  Numerical Simulation

JST classification (2)： Special machining  (QC04000Y) ,  Electric and electronic parts in general  (NA05010H)

Reference (12)：

• 1) J. Zhang, K. Sugioka and K. Midorikawa : Direct Fabrication of Microgratings in Fused Quartz by Laser-induced Plasma-assisted Ablation with a KrF Excimer Laser, Optics Letters 23 (1998) 1486.
• 2) X. Ding, Y. Kawaguchi, T. Sato, A. Narazaki, R. Kurosaki and H. Niino : Micromachining of Quartz Crystal with Excimer Lasers by Laser-Induced Backside Wet Etching, Applied Physics A 69 (1999) S271.
• 3) S. Nikumb, Q. Chen, C. Li, H. Reshef, H. Y. Zheng, H. Qiu and D. Low : Precision Glass Machining, drilling and Profile Cutting by Short Pulse Lasers, Thin Solid Films, 477 (2005) 216.
• 4) K. Tsunetomo and T. Koyama : Direct Formation of a Surface-relief Grating on Glass by Ultraviolet-visible Laser Irradiation, Optics Letters, 22 (1997) 411.
• 5) T. Koyama and K. Tsunetomo : Laser Micromachining of Silicate Glasses Containing Silver Ions Using a Pulsed Laser, Japanese Journal of Applied Physics, 36 (1997) L244.

Terms in the title (10)： 固体 ,  イオン交換 ,  レーザ加工 ,  ガラス ,  開発 ,  金属イオン ,  拡散 ,  ドリフト ,  挙動 ,  数値解析