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J-GLOBAL ID：201302220571035337   Reference number：13A1172247

The Influence of Dissolved Carbon Dioxide on Cavitation Intensity in Ultrasound Cleaning Systems

超音波洗浄システムにおけるキャビテーション強度に対する溶解二酸化炭素の影響

Author (8)： BREMS Steven (Imec vzw, Leuven, BEL) ,  HAUPTMANN Marc (Katholieke Universiteit Leuven, Leuven, BEL) ,  CAMEROTTO Elisabeth (Katholieke Universiteit Leuven, Leuven, BEL) ,  PACCO Antoine (Imec vzw, Leuven, BEL) ,  STRUYF Herbert (Imec vzw, Leuven, BEL) ,  MERTENS Paul (Imec vzw, Leuven, BEL) ,  GOTTSCHALK Christiane (ASTeX GmbH, Berlin, DEU) ,  DE GENDT Stefan (Katholieke Universiteit Leuven, Leuven, BEL)
Material： Japanese Journal of Applied Physics  (JJAP)
Volume： 52  Issue： 6,Issue 1  Page： 066602.1-066602.7  Publication year： Jun. 25, 2013 
JST Material Number： G0520B  ISSN： 0021-4922  CODEN： JJAPB6  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United Kingdom (GBR)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： cleaning device ,  *ultrasonic cleaning ,  *carbon dioxide ,  *cavitation ,  acoustic radiation ,  bubble ,  bubbly flow ,  fluid flow
Semi thesaurus term： ultrasonic cleaning equipment

JST classification (2)： Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V) ,  Film flows,liquid drops,bubbles,cavitation  (BC02070U)

Reference (43)：

• 1) J. Rosato, M. Yalamanchili, M. Beck, and R. Lillard: Solid State Phenom. 103-104 (2005) 167.
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• 3) I. Kim, K. Hwang, and J. Lee: Nanoscale Res. Lett. 7 (2012) 211.
• 4) M. Hauptmann, F. Frederickx, H. Struyf, P. Mertens, M. Heyns, S. De Gendt, C. Glorieux, and S. Brems: Ultrason. Sonochem. 20 (2013) 69.
• 5) M. Keswani, S. Raghavan, P. Deymier, and F. Grieser: Ultrason. Sonochem. 20 (2013) 603.

Terms in the title (3)： 超音波洗浄システム ,  キャビテーション ,  溶解二酸化炭素