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J-GLOBAL ID：201302232395330767   Reference number：13A0092867

ナノ複合化が実現する新規ガラス精密研磨用砥粒の開発

Author (4)： HONMA TAKAYUKI (ファインセラミックスセ 材料技研) ,  KAWAHARA KOICHI (ファインセラミックスセ 材料技研) ,  SUDA SEIICHI (静岡大 工) ,  SUDA SEIICHI (ファインセラミックスセ)
Material： 未来材料  (Expected Materials for the Future)
Volume： 13  Issue： 1  Page： 48-52  Publication year： Jan. 10, 2013 
JST Material Number： L4328A  ISSN： 1346-0986  Document type： Article
Article type： 解説  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *Glass ,  *precision grinding ,  *cerium oxide ,  nanotechnology ,  *abrasive grain ,  reactivity ,  *chemical polishing ,  *alternative ,  development ,  strontium oxide ,  zirconium oxide ,  primary structure ,  grain size dependence ,  *chemical mechanical polishing ,  composition dependence ,  *machining
Semi thesaurus term： *chemical mechanical polishing ,  chemical reactivity ,  material development ,  fine grinding ,  composite

JST classification (4)： Grinding and abrasion materials  (YC06020Q) ,  Other surface treatment  (WC08070F) ,  Manufacturing of glass  (YC02020O) ,  Crystal structure of metal oxides and chalcogenides  (BK07020Y)

Reference (13)：

• 1) L.M. Cook: J. Non-Cryst. Solids, 120, 152 (1990).
• 2) R. Sabia, H.J. Stevens: Mach. Sci. Tech., 4, 235 (2000).
• 3) T. Hoshino, Y. Kurata, Y. Terasaki, K. Susa: J. Non-Cryst. Solids, 283, 129 (2001).
• 4) P. Suphantharida, K. Osseo -Asare: J. Electrochem. Soc., 151, G658 (2004).
• 5) IEIVIIM2007-61989.

Terms in the title (5)： ナノ複合 ,  ガラス ,  精密研磨 ,  砥粒 ,  開発