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J-GLOBAL ID：201302235722563508   Reference number：13A1826800

Development of High-flux Ion Source for Size-selected Nanocluster Ions Based on High-power Impulse Magnetron Sputtering

高出力インパルスマグネトロンスパッタリングに基づくサイズ選別ナノクラスタイオン用の高フラックスイオン源の開発

Author (9)： TSUNOYAMA Hironori (Dep. of Chemistry, Fac. of Sci. and Technol., Keio Univ.) ,  TSUNOYAMA Hironori (Exploratory Res. for Advanced Technol., Japan Sci. and Technol. Agency) ,  ZHANG Chuhang (Dep. of Chemistry, Fac. of Sci. and Technol., Keio Univ.) ,  ZHANG Chuhang (Exploratory Res. for Advanced Technol., Japan Sci. and Technol. Agency) ,  AKATSUKA Hiroki (Dep. of Chemistry, Fac. of Sci. and Technol., Keio Univ.) ,  SEKIYA Hiroki (Dep. of Chemistry, Fac. of Sci. and Technol., Keio Univ.) ,  NAGASE Tomomi (Dep. of Chemistry, Fac. of Sci. and Technol., Keio Univ.) ,  NAKAJIMA Atsushi (Dep. of Chemistry, Fac. of Sci. and Technol., Keio Univ.) ,  NAKAJIMA Atsushi (Exploratory Res. for Advanced Technol., Japan Sci. and Technol. Agency)
Material： Chemistry Letters  (Chem Lett)
Volume： 42  Issue： 8  Page： 857-859 (J-STAGE)  Publication year： 2013 
JST Material Number： S0742A  ISSN： 0366-7022  CODEN： CMLTAG  Document type： Article
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *silver ,  *nanocluster ,  anion ,  ion optics ,  ionization ,  *magnetron sputtering ,  output ,  momentum ,  time ,  force ,  length ,  selectivity ,  cluster ion ,  flux ,  *ion source ,  throughput ,  distribution ,  adjustment
Semi thesaurus term： impulse ,  size ,  size distribution ,  high power ,  fine adjustment

JST classification (5)： Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V) ,  Sputtering  (BK16110U) ,  Inorganic compounds and elements in general  (CD01010D) ,  Interactions with ions  (BK16070Z) ,  Atomic and molecular clusters  (BH09030O)

Reference (27)：

• 1) Nanocatalysis in Nanoscience and Technology, ed. by U. Heiz, U. Landman, Springer-Verlag, Berlin, 2007. doi:10.1007/978-3-540-32646-5.
• 2) R. L. Johnston, Atomic and Molecular Clusters, Taylor & Francis, London, 2002.
• 3) H. W. Kroto, J. R. Heath, S. C. O’Brien, R. F. Curl, R. E. Smalley, Nature 1985, 318, 162.
• 4) S. Wei, B. C. Guo, H. T. Deng, K. Kerns, J. Purnell, S. A. Buzza, A. W. Castleman, Jr., J. Am. Chem. Soc. 1994, 116, 4475.
• 5) S. M. Beck, J. Chem. Phys. 1989, 90, 6306.

Terms in the title (9)： 高出力 ,  インパルス ,  マグネトロンスパッタリング ,  サイズ ,  選別 ,  クラスタイオン ,  フラックス ,  イオン源 ,  開発