Art

J-GLOBAL ID：201302250738429274   Reference number：13A1582705

水熱合成PZT薄膜を用いた球面型超音波トランスデューサの作製と評価(第二報)スパッタリング法による結晶核生成の改良

Author (7)： YAMAMOTO KOHEI (岡山大) ,  KANDA TAKEFUMI (岡山大) ,  SUZUMORI KOICHI (岡山大) ,  NAKAHIRA DAICHI (岡山大) ,  HASEGAWA MASAHIRO (金沢工大) ,  IKENAGA NORIAKI (金沢工大) ,  SAKUDO NORIYUKI (金沢工大)
Material： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
Volume： 2013  Issue： 秋季(CD-ROM)  Page： ROMBUNNO.D07  Publication year： Aug. 28, 2013 
JST Material Number： Y0914A  Document type： Proceedings
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *ultrasonic transducer ,  spherical surface ,  lead zirconate titanate ,  thin film ,  hydrothermal synthesis ,  *crystal nucleation ,  *sputtering ,  densification ,  signal sending ,  experiment ,  ultrasonic wave ,  sensitivity(ratio) ,  sound pressure level ,  substrate(plate) ,  titanium
Semi thesaurus term： densification ,  超音波送信実験

JST classification (2)： Acoustic transducer and other acoustic equipments  (BB03060N) ,  Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V)

Terms in the title (9)： 水熱合成 ,  PZT ,  薄膜 ,  球面 ,  超音波トランスデューサ ,  作製 ,  評価 ,  スパッタリング法 ,  結晶核生成