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J-GLOBAL ID：201302292914327186   Reference number：13A0794895

DEVELOPMENT OF MWCNT EMBEDDED MICROMECHANICAL RESONATOR WORKING AS RAREFIED GAS SENSOR

希薄ガスセンサとして機能するMWCNT埋め込み型マイクロメカニカル共振器の開発

Author (6)： KISHIHARA H. (Kobe Univ., Hyogo) ,  HANASAKI I. (Osaka Univ., Osaka) ,  MATSUZUKA N. (Akashi National Coll. Technol., Hyogo) ,  YAMASHITA I. (Nara Inst. Sci. and Technol., Nara, JPN) ,  URAOKA Y. (Nara Inst. Sci. and Technol., Nara, JPN) ,  ISONO Y. (Kobe Univ., Hyogo)
Material： Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems  (IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems)
Volume： 26th Vol.2  Page： 985-988  Publication year： 2013 
JST Material Number： W0377A  ISSN： 1084-6999  Document type： Proceedings
Article type： 短報  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *micro cavity ,  *rarefied gas ,  *gas sensor ,  multiwalled carbon nanotube ,  ferritin ,  fine patterning ,  gas ,  hydrogen
Semi thesaurus term： MWCNT ,  lift off ,  dilute gas ,  hydrogen gas ,  nitrogen gas ,  micromechanical resonators

JST classification (3)： Analytical instruments  (CC02020S) ,  Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V) ,  Resonator  (NC04050Y)

Terms in the title (5)： 希薄ガス ,  MWCNT ,  埋め込み ,  共振器 ,  開発