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J-GLOBAL ID:201303003349879244

顕微鏡撮像光線路の球面収差を識別し補正する方法及び装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (2): 藤田 アキラ ,  今井 秀樹
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2012224044
Publication number (International publication number):2013088809
Application date: Oct. 09, 2012
Publication date: May. 13, 2013
Summary:
【課題】顕微鏡撮像光線路の球面収差を識別し補正する方法及び装置を提供する。【解決手段】対物レンズ(10)と、撮像光線路に配置された試料(9)を担持又は覆うカバースリップ(2)と、を備える顕微鏡(1)による試料(9)の顕微鏡撮像の状況で、顕微鏡撮像光線路(7)の球面誤差を識別する方法であって、測定ビーム(130)は、対物レンズ(10)を通って試料(9)上に、偏心して対物レンズ(10)の光軸(8)外に案内され、試料(9)とカバースリップの界面(116)で反射された測定ビーム(132)は、対物レンズ(10)を通して検出器(128)に案内され、検出器(128)は、反射測定ビーム(132)の強度プロファイルを取得し、球面誤差の存在は、前記強度プロファイルから定性的及び/又は定量的に特定される。【選択図】図2
Claim (excerpt):
対物レンズ(10)と、顕微鏡撮像光線路に配置された試料(9)を担持又は覆うカバースリップ(2)と、を備える顕微鏡(1)を用いて前記試料(9)の顕微鏡撮像の状況で、顕微鏡撮像光線路(7)の球面誤差を識別する方法であって、 前記対物レンズ(10)を通って前記試料(9)上に、偏心して前記対物レンズ(10)の光軸(8)外に測定ビーム(130)が案内され、前記試料(9)と前記カバースリップの界面(116)で反射された測定ビーム(132)が、前記対物レンズ(10)を通して検出器(128)に案内され、前記検出器(128)は、前記反射された測定ビーム(132)の強度プロファイルを取得し、 前記強度プロファイルから球面誤差の存在が定性的及び/又は定量的に特定される、方法。
IPC (3):
G02B 21/00 ,  G02B 7/32 ,  G02B 7/28
FI (3):
G02B21/00 ,  G02B7/11 B ,  G02B7/11 J
F-Term (11):
2H052AB24 ,  2H052AC04 ,  2H052AC27 ,  2H052AD09 ,  2H052AF02 ,  2H052AF14 ,  2H052AF25 ,  2H151AA11 ,  2H151BA21 ,  2H151CB11 ,  2H151CC03
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (3)

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