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J-GLOBAL ID：201303026264948026

ダイヤモンド様薄膜の評価方法、評価装置及び評価用プログラム

Inventor： 鷹林 将 ,  高萩 隆行 ,  岡本 圭司 ,  中谷 達行
Applicant, Patent owner： 国立大学法人広島大学 ,  トーヨーエイテック株式会社
Agent (12)： 特許業務法人前田特許事務所 ,  前田 弘 ,  竹内 宏 ,  嶋田 高久 ,  竹内 祐二 ,  今江 克実 ,  藤田 篤史 ,  二宮 克也 ,  原田 智雄 ,  井関 勝守 ,  関 啓 ,  杉浦 靖也
Gazette classification：特許公報
Application number (International application number)：2007229326
Publication number (International publication number)：2009063322
Patent number：5099824
Application date： Sep. 04, 2007
Publication date： Mar. 26, 2009
Claim (excerpt)：

【請求項1】 角度分解X線光電子分光法を用いて、X線光電子分光スペクトルを測定するステップ(a)と、 測定したX線光電子分光スペクトルを4つ以上の成分に分解し、各成分についてドニアック-サンジック関数を用いて解析するステップ(b)とを備え、 前記ステップ(a)では、3つ以上の検出角度において前記X線光電子分光スペクトルを測定し、 前記各成分は、前記検出角度ごとに半値幅及び非対称性が互いに等しいフィッティングカーブを用いて解析することを特徴とするダイヤモンド様薄膜の評価方法。

IPC (1)：

G01N 23/227 ( 200 6.01)

FI (1)：

G01N 23/227

Article cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 「ダイヤモンドライクカーボン(DLC)薄膜のXPS解析」
• 「XPSスペクトルにおけるダイヤモンドライクカーボン(DLC)薄膜のアモルファス性の解析」