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J-GLOBAL ID:201303037571463643

超音波センサ及びその製造方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (2): 春日 讓 ,  猪野木 雄一
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2011127437
Publication number (International publication number):2012256972
Application date: Jun. 07, 2011
Publication date: Dec. 27, 2012
Summary:
【課題】本発明の目的は、工業分野で使用可能であり、センサ全体として感度を低下させることなく、一素子あたりの指向性を広げることにより斜角方向の検査性能を向上させた超音波センサ及びその製造方法を提供することにある。【解決手段】 超音波センサ100は、レンズ状基板10と、レンズ状基板に保持された複数の圧電素子20とから構成される。複数の圧電素子20は、平面形状が長方形状であり、長方形状の長辺同士が隣接するように短辺方向であるX方向にアレイ状に配列される。長方形状の複数の圧電素子20がX-Y平面に配列され、複数の各圧電素子は、X-Y平面に直交するX-Z平面においてのみ、その断面形状が円弧状である。円弧状の圧電素子の凸方向に超音波を送信してセクタスキャンするように用いられる。【選択図】図1
Claim (excerpt):
検査対象の内部に超音波を送信し、前記検査対象からのエコーを受信し、前記エコーから検査対象を評価する超音波探傷装置に用いられ、 超音波を発振する平面形状が長方形状の複数の圧電素子を、前記長方形状の長辺同士が隣接するように短辺方向であるX方向にアレイ状に配列した超音波センサであって、 レンズ状基板と、該レンズ状基板に保持された前記複数の圧電素子とから構成され、 前記長方形状の複数の圧電素子がX-Y平面に配列され、 前記前記複数の各圧電素子は、前記X-Y平面に直交するX-Z平面においてのみ、その断面形状が円弧状であり、 前記円弧状の圧電素子の凸方向に超音波を送信してセクタスキャンするように用いられることを特徴とする超音波センサ。
IPC (4):
H04R 17/00 ,  G01N 29/06 ,  G01N 29/24 ,  H04R 31/00
FI (5):
H04R17/00 332A ,  G01N29/06 ,  G01N29/24 ,  H04R17/00 330H ,  H04R31/00 330
F-Term (24):
2G047AA06 ,  2G047BA03 ,  2G047BB02 ,  2G047BC07 ,  2G047CA01 ,  2G047DA02 ,  2G047DB02 ,  2G047DB05 ,  2G047EA05 ,  2G047EA07 ,  2G047EA08 ,  2G047GB02 ,  2G047GB13 ,  2G047GB17 ,  2G047GB21 ,  2G047GB25 ,  2G047GB32 ,  5D019AA02 ,  5D019AA21 ,  5D019AA26 ,  5D019BB19 ,  5D019FF04 ,  5D019FF05 ,  5D019HH01
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (7)
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