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J-GLOBAL ID：201303056610813228

成膜装置及び成膜方法

Inventor： 千田 二郎 ,  大嶋 元啓 ,  米田 有紀子 ,  石田 耕三 ,  富永 浩二 ,  松田 耕一郎 ,  山岸 豊 ,  清水 哲夫
Applicant, Patent owner： 学校法人同志社 ,  株式会社堀場製作所 ,  株式会社堀場エステック
Agent (2)： 西村 竜平 ,  佐藤 明子
Gazette classification：特許公報
Application number (International application number)：2005333346
Publication number (International publication number)：2007138247
Patent number：4708167
Application date： Nov. 17, 2005
Publication date： Jun. 07, 2007
Claim (excerpt)：

【請求項1】 基板を内部に収容する成膜室と、その基板から所定距離離間させて配置され、成膜原料を前記成膜室内に液体状態で噴射する噴射弁と、を備えてなり、 前記噴射弁に設けられた噴射孔の横断面形状が、短手方向にはほぼ一定寸法であるとともに、長手方向には入口から出口に近づくほど徐々に拡開し、出口近傍において少なくとも細長い帯状をなすように構成されている成膜装置。

IPC (2)：

C23C 16/455 ( 200 6.01) ,  H01L 21/31 ( 200 6.01)

FI (2)：

C23C 16/455 ,  H01L 21/31 B

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (2)

• ディーゼル内燃機関に用いられる燃料噴射ノズルおよび該燃料噴射ノズルの製造法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-165397   Applicant：ローベルトボツシユゲゼルシヤフトミツトベシユレンクテルハフツング
• 液体材料気化供給装置、薄膜堆積装置および薄膜堆積装置への液体材料気化供給方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2002-364741   Applicant：千田二郎, 株式会社堀場製作所, 株式会社エステック

Cited by examiner (2)

• ディーゼル内燃機関に用いられる燃料噴射ノズルおよび該燃料噴射ノズルの製造法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-165397   Applicant：ローベルトボツシユゲゼルシヤフトミツトベシユレンクテルハフツング
• 液体材料気化供給装置、薄膜堆積装置および薄膜堆積装置への液体材料気化供給方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2002-364741   Applicant：千田二郎, 株式会社堀場製作所, 株式会社エステック